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水熱合成法によるPZT薄膜を用いた振動形センサとそのシステム化

水熱合成法によるPZT薄膜を用いた振動形センサとそのシステム化
水热合成法PZT薄膜振动传感器及其系统化
批准号:
99J09939
负责人:
神田 岳文
金额:
$1.73万
依托单位:
依托单位国家:
日本
项目类别:
Grant-in-Aid for JSPS Fellows
财政年份:
1999
资助国家:
日本
项目状态:
已结题
起止时间:
1999 至 2001
关键词:

项目摘要

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極低温環境対応マイクロアクチュエータ駆動用圧電振動子の試作研究
  • 批准号:
    24K00791
  • 项目类别:
    Grant-in-Aid for Scientific Research (B)
  • 资助金额:
    $11.81万
  • 财政年份:
    2024
  • 负责人:
    神田 岳文
  • 依托单位:
走査機構一体型圧電薄膜振動子プローブを利用したプローブセンサシステム
  • 批准号:
    15710106
  • 项目类别:
    Grant-in-Aid for Young Scientists (B)
  • 资助金额:
    $2.43万
  • 财政年份:
    2003
  • 负责人:
    神田 岳文
  • 依托单位: