窒化物圧電薄膜におけるミクロ組織の設計ストラテジーの確立

氮化物压电薄膜微结构设计策略的建立

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  • 作者：
    森澤 僚一;平田 研二;小泉 圭吾
  • 通讯作者：
    小泉 圭吾

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