Hochauflösendes analytisches Feldemissions-Rasterelektronenmikroskop

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Die hochauflösende Rasterelektronenmikroskopie (REM) ist am GFE eine unverzichtbare Methode zur umfassenden Charakterisierung massiver Proben im Hinblick auf Morphologie, chemische (mittels energiedispersiver Röntgenmikroanalyse – EDX) und kristallographische Mikrostruktur (mittels Elektronenrückstreubeugung – EBSD). Gegenwärtig kann diese Kombination an Charakterisierungsmethoden ausschließlich vom letzten vor 10 Jahren installierten REM geliefert werden. Der stark gestiegene Bedarf an Untersuchungen durch die in den letzten Jahren vermehrte Einbindung des GFE in Forschungsgroßprojekte, darunter Teilprojekte in sechs Sonderforschungsbereichen, kann durch ein einzelnes Gerät nicht mehr bewältigt werden. Gleichzeitig ist das zweite Feldemissions-REM des GFE mittlerweile über 20 Jahre im Einsatz, und der Hersteller hat angekündigt, die Verfügbarkeit von Ersatzteilen in Zukunft nicht mehr garantieren zu können. Zusätzlich sind die abbildenden Fähigkeiten der REMs durch Fortschritt in der Detektortechnik, gerade auch bei kleinen Strahlenergien und variablen Drücken, in den letzten 10 Jahren stark angewachsen. Daher wird im vorliegenden Antrag ein dem aktuellen Stand der Technik entsprechendes Feldemissions-REM mit EDX, EBSD und SE-, BSE- und InLens-Detektoren sowie VP-Option beantragt.