光路最適化したメタサーフェスを用いた表面増強ラマンデバイスの創製

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今年度の目標は集束イオンビーム励起表面反応堆積技術を用いたメタサーフェスの雛形試作および傾斜回転ステージを組込んだスパッタ装置を用いた金のコンフォーマル積層であった。収束イオンビーム励起表面反応堆積技術を用いて設計したメタサーフェスの雛形を試作した。FIB-CVDを用いることで、nmオーダの構造を比較的簡便に試作することができる。雛形の材料としては、フェナントレンを原料ガスとしたDLC（diamond-like carbon）を用いた。FIB-CVDは所属機関所有の装置を用いて行った。