光機械振動子を応用した高感度光学水素センシング

使用光机械振荡器的高灵敏度光学氢传感

• 批准号: 16H06072
• 负责人: 前田 悦男
• 金额: $ 16.06万
• 依托单位: The University of Tokyo
• 依托单位国家: 日本
• 项目类别: Grant-in-Aid for Young Scientists (A)
• 财政年份: 2016
• 资助国家: 日本
• 起止时间: 2016-04-01 至 2019-03-31
• 项目状态: 已结题
• 来源: https://kaken.nii.ac.jp/grant/KAKENHI-PROJECT-16H06072/
• 关键词: ガスセンシング; 光学; ナノメカニクス; 物性; 機械振動子; センサ

当初の予定通り、ナノキャビティの構造設計およびナノキャビティの試作を実施した。設計には周期構造を有する光学結晶の計算に有利な厳密結合波解析法を用いた。ナノギャップを有する構造体とすることで、近赤外領域10 nmオーダーの半値幅を持つ吸収スペクトルを持つ構造を見出した。試作には、ガリウム集束イオンビームとマグネトロンスパッタ装置を用い、0.01 pmオーダーの波長感度を有する光機械振動子を実現した。性能評価実験には、光ドップラー式顕微振動計を用い、近赤外光に対しての応答を測定した。また、ヘリウム集束イオンビームに関する試行では、ほぼ1 nmの線幅で高アスペクト比のナノキャビティを実現することに成功した。研究結果は下記の雑誌および国際会議にて発表された。E. Maeda et al., Appl. Phys. Lett. 111, 013102 (2017); doi: http://dx.doi.org/10.1063/1.4991683E. Maeda et al., AVS(American Vacuum Society)2017, Tampa Convention Center, Tampa, Florida

At the beginning, it was stipulated that the information system should be designed and designed. The information system should be used as a system. It is necessary to design the cycle to calculate the optical properties and to combine the wave analysis method with the calculation of optical properties. In the field of near red field, 10 nm in the field of red field, the amplitude of the device is about 50%. In the field of the red field, there are two parts in the field of red field. The equipment is in use, and the wave length sensitivity of 0.01 pm is detected by the optical machine vibrator. Performance measurement, optical measurement, micro-vibration measurement, and near-red light measurement. This is the first time that you can see that you are successful, and that you will not be able to do so. In this case, you will find that you are in a good situation. According to the results of the study, we will review the table of the International Conference. E. Maeda et al., Appl. Phys. Lett. 111,013102 (2017); doi: http://dx.doi.org/10.1063/1.4991683E. Maeda et al., AVS (American Vacuum Society) 2017, Tampa Convention Center, Tampa, Florida

项目成果

Sub-10 nm width high aspect trench patterning of gold film using helium ion microscope

使用氦离子显微镜对金膜进行亚 10 nm 宽高深宽沟槽图案化

• 发表时间: 2017
• 作者: 浅野竜太郎;Etsuo Maeda
• 通讯作者: Etsuo Maeda

Sub-picometer multi-wavelength detector based on highly sensitive nanomechanical resonator

基于高灵敏纳米机械谐振器的亚皮米级多波长探测器

• DOI: 10.1063/1.4991683
• 发表时间: 2017
• 期刊: Applied Physics Letters
• 影响因子: 4
• 作者: Etsuo Maeda