X線用気体フィルターを用いた蛍光X線同時計測分析法の開発

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蛍光X線分析法は未知試料の定量定性分析が可能な方法として有用である。一般に蛍光X線分析法では、試料とX線管の間に金属元素を導入することで、不要なX線をカットし、バックグランド強度の低いスペクトルを取得する。一般に固体もしくは薄膜として存在する元素のみが一次X線フィルターとして用いられてきたが、本研究では希ガス元素を一次X線フィルターとして採用可能な機構を開発し、装置を組み立てた。一次X線フィルターはベローズ型のチェンバーを改造することで作製した。本研究では、最初にチタンを標的元素に実験し、バックグランド強度の変化を観察した。また、チェンバー内のアルゴンの圧力も変動させた。その結果、アルゴンを導入することでアルゴンを導入する前のスペクトルと比較して、バックグランド強度が減衰した。今後は、バックグランド強度だけでなく、正味の蛍光X線強度(signal) と バックグランド強度(Background intensity)の比であるSB比の比較や検出下限(MDL: Minimum detection limit)の比較も行っていく。また、本研究ではアルゴンを気体フィルターとして用いたが、今後はクリプトンなどの他のガスを用いる実験を行う。この場合は標的元素をジルコニウムに設定し、バックグランドの評価を含め、SB比やMDLの比較も行っていく予定である。蛍光X線同時分析に関する研究も随時進めていく。