金属配線付き基板を段差導入なく平坦にする純水を用いた持続可能な精密研磨技術の開発
金属配線付き基板を段差導入なく平坦にする純水を用いた持続可能な精密研磨技術の開発
开发可持续精密抛光技术，使用纯水平整带有金属布线的基板，无需引入步骤
批准号：
23K13234
负责人：
藤 大雪
金额：
$3.0万
依托单位：
依托单位国家：
日本
项目类别：
Grant-in-Aid for Early-Career Scientists
财政年份：
2023
资助国家：
日本
项目状态：
未结题
起止时间：
2023-04-01 至 2025-03-31
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会议论文
ニッケル触媒を利用した純水ベースの超精密表面研磨手法の開発
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批准号：18J20252
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项目类别：Grant-in-Aid for JSPS Fellows
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资助金额：$1.79万
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财政年份：2018
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负责人：藤 大雪
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依托单位：