金属配線付き基板を段差導入なく平坦にする純水を用いた持続可能な精密研磨技術の開発

开发可持续精密抛光技术，使用纯水平整带有金属布线的基板，无需引入步骤

基本信息

  • 批准号：
    23K13234
  • 负责人：
    藤 大雪
  • 金额：
    $ 3万
  • 依托单位：
    Osaka University
  • 依托单位国家：
    日本
  • 项目类别：
    Grant-in-Aid for Early-Career Scientists
  • 财政年份：
    2023
  • 资助国家：
    日本
  • 起止时间：
    2023-04-01 至 2025-03-31
  • 项目状态：
    未结题

项目摘要

项目成果

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ニッケル触媒を利用した純水ベースの超精密表面研磨手法の開発
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  • 批准号：
    18J20252
  • 财政年份：
    2018
  • 资助金额：
    $ 3万
  • 项目类别：
    Grant-in-Aid for JSPS Fellows
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作者：{{ showInfoDetail.author }}

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