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UHV電顕内蒸着用 E-gun およびスパッタ ion-gun の試作と応用

UHV電顕内蒸着用 E-gun およびスパッタ ion-gun の試作と応用
特高压电子显微镜电子枪、溅射离子枪的样机制作及应用
批准号：
X00120----285003
负责人：
本庄 五郎
金额：
$2.62万
依托单位：
Tokyo Institute of Technology
依托单位国家：
日本
项目类别：
Grant-in-Aid for Developmental Scientific Research
财政年份：
1977
资助国家：
日本
项目状态：
已结题
起止时间：
1977 至 1978
来源：
https://kaken.nii.ac.jp/en/grant/KAKENHI-PROJECT-X00120----285003/
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スパッタ・イオン研磨過程のUHV電顕法による研究
  • 批准号：
    X00080----346106
  • 项目类别：
    Grant-in-Aid for General Scientific Research (B)
  • 资助金额：
    $3.9万
  • 财政年份：
    1978
  • 负责人：
    本庄 五郎
  • 依托单位：
    Tokyo Institute of Technology
10^<-9>torr超高真空電子顕微鏡技術の開発
  • 批准号：
    X00120----985003
  • 项目类别：
    Grant-in-Aid for Developmental Scientific Research
  • 资助金额：
    $2.14万
  • 财政年份：
    1974
  • 负责人：
    本庄 五郎
  • 依托单位：
    Tokyo Institute of Technology
電子顕微鏡試料電場印加による強誘電体相転移と分極反転機構の研究
  • 批准号：
    X00080----946044
  • 项目类别：
    Grant-in-Aid for General Scientific Research (B)
  • 资助金额：
    $2.43万
  • 财政年份：
    1974
  • 负责人：
    本庄 五郎
  • 依托单位：
    Tokyo Institute of Technology
清浄真空中蒸着による薄膜結晶成長機構の研究
  • 批准号：
    X00040----910804
  • 项目类别：
    Grant-in-Aid for Special Project Research
  • 资助金额：
    $5.02万
  • 财政年份：
    1974
  • 负责人：
    本庄 五郎
  • 依托单位：
    Tokyo Institute of Technology