半導体レーザ励起薄片固体レーザによる二光波混合型自己混合計測技術の開発

半导体激光泵浦薄片固体激光器两波混合自混合测量技术的开发

• 批准号: 24918003
• 负责人: 大友 高行
• 金额: $ 0.32万
• 依托单位: Tokai University
• 依托单位国家: 日本
• 项目类别: Grant-in-Aid for Encouragement of Scientists
• 财政年份: 2012
• 资助国家: 日本
• 起止时间: 2012 至 无数据
• 项目状态: 已结题
• 来源: https://kaken.nii.ac.jp/en/grant/KAKENHI-PROJECT-24918003/
• 关键词: マイクロチップ固体レーザ; 変位計測; ナノメートル計測

○研究目的本研究の目的は、従来の自己混合計測法の構成を大幅に変える事無く、測定ターゲットの物性を光路長変化から測定する手法を構築する事である。これまでの研究成果から、圧電素子に反射膜を蒸着させた振動体について、圧電素子の長周期振動の測定に成功している。この結果を発展させ、実験系の見直しを図る事で詳細な光路長変化の検出を実現し、より実用的な計測系の構築を目指す。○研究方法半導体レーザ励起LNP薄片固体レーザから発振するレーザ光を、コリメート用非球面レンズにより平行光にコリメートした後に周波数シフタを介してキャリア周波数を作成し、光減衰器で戻り光量を調整した後にビームスプリッタでレーザ光を2つの光に分割した。分割された2つの光はそれぞれ集光用非球面レンズにより集光し、一方は反射鏡に照射させ他方は測定用ターゲットに照射させた。測定用ターゲットとして、反射鏡を蒸着したナノメートル単位で振動する振動体を用いた。○研究成果振動体を1Hz程度の低周波数で振動させたときの計測から、ビームスプリッタで分割した2つの光がレーザ共振器に帰還することで、キャリア周波数ピークが時間的に強度変化することを観測した。レーザレート方程式からキャリア周波数ピークの時間的な強度変化を再現し、2つの光の位相差に由来することを確認した。キャリア周波数ピークの時間変化から振動体の振動波形を再現し、既存のレーザ変位計を用いた計測結果と比較することで、再現した振動波形が正確な振幅値であることを確認した。

Objective of this study: To construct a method for measuring the optical path length of a composite measurement method. The results of this research include the successful measurement of the long period vibration of the piezoelectric element and the evaporation of the reflective film on the piezoelectric element. The results of this study were developed, the system was observed, and the detailed optical path length was measured. The practical measurement system was constructed. Research Methods: Semiconductor LNP sheet solid state light emitting device, aspheric light emitting device, parallel light emitting device, optical attenuation device The light is divided into two parts: one part is used to collect light, the other part is used to measure light. Measurement of the vibration of a single mirror○ Research results: Measurement of vibration at low frequency of 1 Hz, measurement of vibration intensity at low frequency of 1 Hz, measurement of vibration intensity at low frequency of 1 Hz. 2. The phase difference of the light is confirmed. The vibration waveform of the vibrating body is reproduced when the number of cycles is changed, and the measurement results of the existing vibration meter are compared to confirm that the vibration waveform of the vibrating body is correct when the amplitude is changed.