圧力差を利用したキャップ固定による試料の作製から分析までの可搬式真空一貫プロセス

从样品制备到使用压力差固定盖进行分析的便携式真空集成过程

• 批准号: 26917015
• 负责人: 佐藤 美那
• 金额: $ 0.38万
• 依托单位: Tokyo Institute of Technology
• 依托单位国家: 日本
• 项目类别: Grant-in-Aid for Encouragement of Scientists
• 财政年份: 2014
• 资助国家: 日本
• 起止时间: 2014-04-01 至 2015-03-31
• 项目状态: 已结题
• 来源: https://kaken.nii.ac.jp/en/grant/KAKENHI-PROJECT-26917015/
• 关键词: 真空一貫プロセス; 非大気曝露; EDX

本研究は試料の作製から分析まで基板表面を大気曝露せず真空状態に保つことで酸化を防ぎ、成膜後の基板を的確に分析を行う可搬式真空一貫プロセスについて開発することを目的とした。ロードロック式ではない装置でこの目的を実現するために、大気圧と真空の圧力差を利用したキャップ固定による方法を用いた。真空中での成膜直後の試料は清浄な状態であるが、大気リークの影響によりTiやAlなどの材料は表面汚染・酸化されやすい。そこで、試料の作製から分析まで基板表面を大気曝露せず真空状態に保つことで酸化を防ぎ、成膜後の基板を的確に分析を行うことが可能か実験を行った。可搬式真空一貫プロセスの導入系についてはキャップの出し入れ、キャップの脱着が必要なため回転導入系を使用した。キャップについては本研究では大気リークすることでキャップ内圧力は真空が保たれたまま、チャンバー内は大気圧となるためキャップの内側と外側に圧力差が生じ、吸盤のように固定されることから、外気圧によりキャップが変形しない様、強度のあるSUS304を使用し作製した。また、キャップを隙間のできないよう押し付ける部分にはOリングを付けることでキャップ内への大気リークを抑えた。回転導入系と作製したキャップを用いて、真空状態での試料の出し入れが可能であることを確認した。その後、成膜後の基板が大気リークの影響で分析に影響を与えていると考えられるため、真空一貫プロセスを使用した場合と使用しない場合での成膜基板をEDX分析することで提案する方法の有用性を確かめる実験を行った。Si基板上にAlを成膜し、真空一貫プロセスを用いて非大気曝露にて取り出した基板と大気曝露した基板をEDX分析した結果、非大気曝露基板は大気曝露した基板に比べにO含有量が約3at%程度少なく酸化されにくいことが分かった。真空一貫プロセスにより大気曝露による薄膜の酸化を防ぐことができ本研究の有用性を確認することができた。

In this study, the material was used to analyze the surface of the substrate, and the surface of the substrate was exposed to vacuum. The substrate was acidified and acidified, and the film was used to determine the safety of the substrate after film formation. the purpose of this study is to carry out a removable vacuum. The purpose of the device is to make use of the method of fixing the force difference of vacuum and vacuum. After the formation of the film in vacuum, the material is clear and the surface of the material is stained and acidified. The surface of the material is stained and acidified. Make sure that the surface of the substrate is exposed, the vacuum state is protected, the acidizing is prevented, and the analysis of the substrate after the film is formed. A removable vacuum is used to guide the use of the system. The purpose of this study is to measure the strength of the vacuum, the pressure of the vacuum, the strength of the vacuum, the pressure of the vacuum, the strength of the vacuum, the strength of the vacuum, the pressure of the vacuum, the strength of the vacuum, the pressure of the vacuum, the strength, the shape, the strength, the strength, the shape, the shape, the strength, the strength, the temperature, the shape, the shape, the strength, the strength, the temperature, the temperature, In the middle of the gap, the police will pay for the payment of the goods in the hotel. The input system is used in the system, and the vacuum status data is used to confirm the input. After the film is formed, the substrate and the film are analyzed. The film is used in a vacuum. The film substrate is formed by EDX analysis. The proposal method is useful. The results of the Al film formation on the Si substrate, the vacuum exposure, the substrate exposure, the EDX analysis, the substrate, the substrate. Vacuum exposure, thin film acidification, anti-corrosion, anti-corrosion, usefulness, usefulness, environmental exposure, film acidification, film acidification, film

项目成果

圧力差を利用したキャップ固定による可搬式真空一貫プロセスの検討

利用压差固定盖帽的便携式真空集成工艺研究

• 发表时间: 2014
• 作者: 監修 : 諸富徹、編著 : 若手再エネ実践者研究会、共著者 : 豊田陽介;他21名;佐藤美那
• 通讯作者: 佐藤美那