低域混成波との複合過程を用いた高密度ヘリコン波プラズマの生成

使用低频混合波的组合工艺生成高密度螺旋波等离子体

• 批准号: 08780449
• 负责人: 坂和 洋一
• 金额: $ 0.58万
• 依托单位: Nagoya University
• 依托单位国家: 日本
• 项目类别: Grant-in-Aid for Encouragement of Young Scientists (A)
• 财政年份: 1996
• 资助国家: 日本
• 起止时间: 1996 至 无数据
• 项目状态: 已结题
• 来源: https://kaken.nii.ac.jp/en/grant/KAKENHI-PROJECT-08780449/
• 关键词: ヘリコン波; 低域混成波; 高密度プラズマ生成; 密度ジャンプ; 低密度モード; 高密度モード

ヘリコン波のよるプラズマ生成では、希ガスのガス圧数mTorr,外部磁場Bo〜1KGにおいて高周波電力(Prf<5kW)を上げていくと、アンテナの誘導電場によって低密度プラズマ(np<10^<12>cm^<-3>)が生成される低密度モードから、密度が一桁以上急激に増加する密度ジャンプを経て、ヘリコン波によってnp=10^<13>cm^<-3>以上の高密度プラズマが生成される高密度モードへ移行することが調べられてきた。本研究は、低域混成波とヘリコン波との複合過程を用いて高密度プラズマを生成しその物理的機構を解明するとともに、低域混成波の密度ジャンプにおける役割を明らかにすることを目的とした。実験は、直線型実験装置(HPX)を用いて行なった。Bo<1.5kGのもとで、各種ガスを数mTorr封入した真空容器の一端に設置したダブルループアンテナに高周波(f=7〜21MHz,Prf<15kW)を印加しプラズマを生成した。f=13.56MHz,Prf=3kWにおいて、H_2,D_2,He,Ne,N_2,Ar,Xeガスを用いてnpのBo依存性を調べたところ、npが最大となるBoはイオン質量数の0.5乗に比例し、またその値は低域混成波の共鳴条件を満たす磁場(BRES)に近い値となった。また、Arガス,=7〜21HMzにおいて密度ジャンプの起こる高周波電力(Prf-th)のBo依存性を調べたところ、Prf-thはf=7,10MHzにおいてBo〜BRESを満たすBoにおいて最小となった。これらの実験結果とイオンも含めた分散関係の数値計算の結果から、低密度モードに低域混成波が励起され、の波動ノエネルギー吸収によってプラズマ密度が上昇するとヘリコン波が励起され高密度モードに移行する、という密度ジャンプのモデルが示された。

The number of radio waves generated and desired is mTorr, and the external magnetic field Bo~ 1KGV is loaded with high cycle power (Prf<5kW). Low density radar (np< 10 ^ & lt;12> cm ^ & lt;-3&gt) is used in the pilot field. ) Generation of low density, density surge of more than one truss, increase of density, wave propagation, np= 10 ^ & lt;13> cm^ & lt;-3> above high density, transition, migration, migration, propagation, migration, and so on, np= 10 ^ & In this study, the process of low-domain hybrid wave generation is analyzed by using the mechanism of high-density wave generation physics, and the low-domain hybrid wave density wave is used to understand the purpose of the experiment. The straight-line and straight-line equipment (HPX) is used to run the device. Bo<1.5kG equipment, all kinds of equipment mTorr seal on one end of the vacuum container to set the equipment. The high cycle of the Indo-Canadian vacuum equipment is generated by the high frequency of the Indo-Canadian vacuum equipment (flip 721 MHZ, Prflott 15kW). The Bo dependence of np, the maximum Bo of np, the proportion of Bo, the ratio of low-domain mixed waves, the condition of low-domain mixed waves, the magnetic field (BRES) and the magnetic field (FHZ). Frequency, Ar frequency, = 7 ~ 21hmz, density density, high frequency power (Prf-th), Bo dependence, density, frequency, frequency, The results show that there are significant differences in the results of the calculation of dispersion data, low-density transmission, low-domain mixed wave excitation, low-density transmission, high-density transfer, high density, low-density, high-density, high-density,

项目成果

Y.Sakawa: "Chaeracterisitcs of the density plasma production by m=0 helicon wave" Applied Physics Letters. 69・12. 1695-1697 (1996)

Y. Sakawa：“m=0 螺旋波产生的密度等离子体的特征”《应用物理快报》69・12 1695-1697（1996）。