電池駆動可能なダイヤモンド冷陰極の作製とそのデバイス応用

电池供电金刚石冷阴极的制备及其器件应用

• 批准号: 09750036
• 负责人: 岡野 健
• 金额: $ 1.34万
• 依托单位: International Christian University (1998)Kochi University of Technology (1997)
• 依托单位国家: 日本
• 项目类别: Grant-in-Aid for Encouragement of Young Scientists (A)
• 财政年份: 1997
• 资助国家: 日本
• 起止时间: 1997 至 1998
• 项目状态: 已结题
• 来源: https://kaken.nii.ac.jp/en/grant/KAKENHI-PROJECT-09750036/
• 关键词: ダイヤモンド; 窒素添加; 電子放出; 冷陰極; 負性電子親和力; 負の電子親和力; フラットパネルディスプレー

ダイヤモンドを成長させる際に,フォトリソグラフィー技術を用い,異方性エッチング技術により逆ピラミッド状にエッチングしたシリコンを基板として使用する,いわゆる鋳型成形(モールド)法によるピラミッド状ダイヤモンドの作製技術を利用し、これと尿素を用いた新しいダイヤモンドへの高濃度窒素の添加方法を組み合わせることで、0.2V/μm程度の非常に低い電界における電子放出現象の確認および電池駆動可能なピラミッド状エミッタアレーの開発に成功した.これらの成果はまとめて、論文誌ultramicroscopyに報告した.また,多量の窒素を添加し,へテロエピタキシャル成長したダイヤモンド薄膜からの電子放出特性を測定し,多結晶やピラミッド状ダイヤモンドの特性と比較した結果を,論文誌Diamond Films & Tech.に報告した.さらに,このような窒素添加ダイヤモンドからの低電圧/電界での電子放出現象の解釈の一つとして,"space charge interlayer"modelを提案し,論文誌J.Vac.Sci.& Tech.Bに報告した.またピラミッド状ダイヤモンドの"parallel lithography"や"datastrage"などへの応用にも着手し,その第一報を論文誌Jpn.J.Appl.Phys.に報告した.以上を総括すると,まだ明らかにされていない問題点も残されているものの,数々の実験結果や理論的な考察から,気相成長ダイヤモンドからの電子放出機構の解明への着実な第一歩を踏み出せたものと考えている.(651文字)

ダイヤモンドをGrowth させる间に, フォトリソグラフィーTechnology を Use い, Anisotropy エッチングTechnology The よりピラミッド-shaped にエッチングしたシリコンを base plate として uses the する, いわゆる鋳 molding (モールド) French によるピラミッドダイヤモンドの manufacturing technology を utilization これと urea を use いた new しいダThe method of adding high-concentration phytozolinone and the combination of high-concentration and high-concentration asphyxiants are extremely low at the level of 0.2V/μm. Confirmation of Electron Discharge Phenomenon in Electric World: Possible Battery Discharge - Electron Release Successful results. Ultramicroscopy report. , a large amount of sulfate added, へテロエピタキシャル growth したダイヤモンド film からのelectron emission characteristicsをMeasurement し, Polycrystalline やピラミッド-shaped ダイヤモンドの Characteristics and comparison した results を, Thesis Journal Diamond "Space charge interlayer "model proposal", paper journal J.Vac.Sci.& Tech.B report "parallel" lithography"や"datastrage"などへの応用にも开户し,そのFirst reportをJournal of thesis Jpn.J.Appl.Phys.にReportいないproblem も residual されているものの, number 々の実験 results や な investigation から, 気phase growth ダイヤモンドからの Electron release mechanism's explanation of the meaning of the mechanism. (651 words)

项目成果

F.Watanabe et.al.: "″Diamond tip arrays for parallel lithography and data storage″" Jpn.J.Appl.Phys.37. L562-564 (1998)

F.Watanabe 等人：““用于并行光刻和数据存储的金刚石尖端阵列””Jpn.J.Appl.Phys.37. L562-564 (1998)

H.Maeda et.al.: "″Formation of heteroepitaxially oriented (100) diamond thin films and their field emission properteis″" Diamond Films & Tech.accepted for publication.

H.Maeda 等人：“异质外延取向 (100) 金刚石薄膜的形成及其场发射特性”Diamond Films & Tech. 接受出版。