プラズマ計測4THz帯ショットキ・バリア・ダイオードの開発

开发用于等离子体测量的4THz频段肖特基势垒二极管

• 批准号: 11750278
• 负责人: 荒木 実
• 金额: $ 0.7万
• 依托单位: Tohoku University
• 依托单位国家: 日本
• 项目类别: Grant-in-Aid for Encouragement of Young Scientists (A)
• 财政年份: 1999
• 资助国家: 日本
• 起止时间: 1999 至 2000
• 项目状态: 已结题
• 来源: https://kaken.nii.ac.jp/en/grant/KAKENHI-PROJECT-11750278/
• 关键词: サブミリ波帯; ショットキ・バリア・ダイオード

本年度の交付申請書記載の研究実施計画に沿って、以下に実績の概要を記す。1)エッチング終点検出について、4重極質量分析計を用いて観測した結果、質量番号26に着目することにより、検出が可能であることを示した(電子通信学会マイクロ波研究会にて発表)。この時の反応生物はCNであると考えられる。本知見は、今後化合物半導体プロセスにとって極めて有用な貢献である。2)上記のエッチング終点検出法を用いて製作した直径0.25μmのダイオードを文部省核融合科学研究所等との共同研究にて5.2THzにて測定し、検出感度3V/Wを得た。この値は、世界のトップデータであり、実用的な値である。今後核融合科学研究所でのテラヘルツ帯干渉計に本ダイオードを使用したいとの申し出があった。

The application form submitted this year records the research implementation plan に along って, and the following is a summary of the に implementation achievements を record す. 1) エ ッ チ ン グ end 検 out に つ い て, 4 heavy quality analysis meter を with い て 観 measuring し た results, quality mash 26 に mesh す る こ と に よ り, 検 が may で あ る こ と を shown し た (electronic communication society マ イ ク ロ wave research に て 発 table). The <s:1> <s:1> is the opposite of 応 biology であると CNであると is えられる. The present knowledge is プロセスにとって, and in the future, compound semiconductors are プロセスにとって and めて will be useful and contribute な to である. 2) written の エ ッ チ ン グ end を 検 out method with い て making し た 0.25 microns in diameter の ダ イ オ ー ド を or nuclear fusion science institute と の joint research に て 5.2 THz に て し, 検 sensitivity is 3 v/W を た. The <s:1> <s:1> value タであ, the world トップデ トップデ タであ タであ タであ トップデ, the practical な value である. In the future, the Institute of Nuclear Fusion Science will で, テラヘ, テラヘ, <s:1>, and be involved in に. This ダ, <s:1>, and <s:1> will be used in ドを, た, と, and と respectively.

项目成果

M.Araki,H.Minamide,T.Yasui,H.Fujishima,T.Suzuki and K.Mizuno: "Precisely Controlled Fabrication Process of Schottky Barrier Diodes with a Quarter-Micron Anodes for Terahertz Receivers"The 7th IEEE International Conference on Terahertz Electronics Proc.. 2

M.Araki、H.Minamide、T.Yasui、H.Fujishima、T.Suzuki 和 K.Mizuno：“用于太赫兹接收器的带有四分之一微米阳极的肖特基势垒二极管的精确控制制造工艺”第七届 IEEE 太赫兹国际会议

T.Suzuki,T.Yasui,H.Fujishima,T.Nozokido,M. Araki,O.Boric-Lubecke,V.M.Lubecke,H.Warashina and K.Mizuno: "Reduced Low frequency Noise Schottky Barrier Diodes for Terahertz Applications"IEEE Microwave Theory and Technology. 47・6. 1649-1655 (1999)

T. Suzuki、T. Yasui、H. Fujishima、T. Nozokido、M. Araki、O. Boric-Lubecke、V. M. Lubecke、H. Warashina 和 K. Mizuno：“用于太赫兹应用的降低低频噪声肖特基势垒二极管”IEEE微波理论与技术。 1649-1655 (1999)

荒木実、南出泰亜、安井孝成、藤島寛智、鈴木哲、水野皓司: "テラヘルツ帯用0.25μmショットキ・バリア・ダイオードの開発"信学技術報告. (1999)

Minoru Araki、Yasua Minamide、Takashige Yasui、Hirotomo Fujishima、Tetsu Suzuki、Koji Mizuno：“太赫兹频段 0.25μm 肖特基势垒二极管的开发”IEICE 技术报告（1999 年）。