プラズマ計測4THz帯ショットキ・バリア・ダイオードの開発

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本年度の交付申請書記載の研究実施計画に沿って、以下に実績の概要を記す。1)エッチング終点検出について、4重極質量分析計を用いて観測した結果、質量番号26に着目することにより、検出が可能であることを示した(電子通信学会マイクロ波研究会にて発表)。この時の反応生物はCNであると考えられる。本知見は、今後化合物半導体プロセスにとって極めて有用な貢献である。2)上記のエッチング終点検出法を用いて製作した直径0.25μmのダイオードを文部省核融合科学研究所等との共同研究にて5.2THzにて測定し、検出感度3V/Wを得た。この値は、世界のトップデータであり、実用的な値である。今後核融合科学研究所でのテラヘルツ帯干渉計に本ダイオードを使用したいとの申し出があった。