電気的負性ガス放電のレーザー計測による研究

使用激光测量负电气体放电的研究

• 批准号: 11780349
• 负责人: BOWDEN Mark
• 金额: $ 0.38万
• 依托单位: Kyushu University
• 依托单位国家: 日本
• 项目类别: Grant-in-Aid for Encouragement of Young Scientists (A)
• 财政年份: 1999
• 资助国家: 日本
• 起止时间: 1999 至 2000
• 项目状态: 已结题
• 来源: https://kaken.nii.ac.jp/en/grant/KAKENHI-PROJECT-11780349/
• 关键词: プラズマ; 電子温度・密度; レーザー計測法

1970年代初頭,初めてプラズマが広くデバイス製造に使われて以来,プラズマを用いたデポジション及びエッチング技術は,電子デバイス製造に応用されることで急速に発展してきた。現在,プラズマプロセスの応用範囲は急速に拡大しており,しかも高度化している。そのため,これまでに予想されなかった問題点も顕在化している。そのような状況に対応するため,様々な新しいプラズマの利用法が模索されている。不活性ガスを用いたプラズマでは電子がプラズマを中性に保つ役目をするが,負イオンが存在するプラズマでは負イオンがその役目を果たす。したがって,これまで広く研究されているプラズマとは異なる振る舞いがある可能性があり,プラズマプロセスに応用するためにはこのプラズマの振る舞いを明らかにしなければならない。本研究はレーザートムソン散乱法を活性ガス種のプラズマ計測に適用しようとするものである。レーザートムソン散乱法は,プラズマに擾乱を与えることなく電子諸量を正確に計測できる。この計測法を低密度プラズマや電気的負性ガス(electronegative gas)放電に適用するためにはレーザー解離の影響や,計測信号に対するプラズマからの背景光の評価などが必要となる。本研究では最適なレーザー光源や検出器を選択し,プラズマに擾乱を与えず高い測定精度でプラズマの電子諸量を計測できるシステムの構築を目的とする。この目的に対して、本年度は以下の成果を得た。(1)CF_4/Arプラズマ中の電子特性を計測した。(Jpn.J.Appl.Phys.,2001年予定)。(2)O_2/Arプラズマ中の電子特性を計測した。(Jpn.J.Appl.Phys.,2001年予定)

Since the early 1970s, electronic technology has developed rapidly in the field of production. Now, with the rapid increase in the number of users, the number of users has increased. The problem is that the problem is not solved. A new method of using the information in the database is proposed. Inactive, active, inactive, inactive, inactive This is the first time I've ever seen a woman in my life. This study focuses on the application of the method of scattering to the measurement of active species. The correct measurement of electron quantities is performed by the method of scattering. This measurement method is necessary for the evaluation of the background light of the low density and negative (electronegative gas) discharge. This study aims to optimize the selection of light sources and detectors, and to improve the measurement accuracy of electronic quantities. The following results were achieved during the year: (1)CF Measurement of electronic properties in_4/Ar ~(3 +) (Jpn.J.Appl.Phys., 2001). (2)O Measurement of electronic properties in_2/Ar ~(2 +) (Jpn.J.Appl.Phys., 2001)

项目成果

M.D.Bowden,Y.Goto,P.J.A.Howarth,K.Uchino and K.Muraoka: "A Thomson scattering diagnostics system for measurement of electron properties of processing plasmas"Plasma Sources,Science and Technology. 8・2. 203-204 (1999)

M.D. Bowden、Y. Goto、P.J.A. Howarth、K. Uchino 和 K. Muraoka：“用于测量处理等离子体的电子特性的汤姆森散射诊断系统”，《等离子体源》，《科学与技术》203-204。

M.D.Bowden Y.Goto,T.Hori,K.Uchino,K.Muraoka and M.Noguchi: "Detection Limit of Laser Thomson Scattering for Low Density Discharge Plasmas"Japanese Journal of Applied Physics. 38・6A. 3723-3730 (1999)

M.D. Bowden Y. Goto、T. Hori、K. Uchino、K. Muraoka 和 M. Noguchi：“低密度放电等离子体的激光汤姆逊散射的检测极限”日本应用物理学杂志 38・6A（1999 年）。 ）

M.D.Bowden,H.Kudo,K.Uchino,K.Muraoka,and M.Noguchi: "A Thomson Scattering Measurement System Based on an Infrared Laser"Japanese Journal of Applied Physics. 38・8. 4924-4925 (1999)

M.D.Bowden、H.Kudo、K.Uchino、K.Muraoka 和 M.Noguchi：“基于红外激光的汤姆森散射测量系统”日本应用物理学杂志 38・8（1999 年）。