STJ検出器による高効率極端紫外線望遠鏡のための多層膜光学素子の開発

使用 STJ 探测器开发高效极紫外望远镜多层光学元件

• 批准号: 13874056
• 负责人: 滝澤 慶之
• 金额: $ 1.34万
• 依托单位: The Institute of Physical and Chemical Research
• 依托单位国家: 日本
• 项目类别: Grant-in-Aid for Exploratory Research
• 财政年份: 2001
• 资助国家: 日本
• 起止时间: 2001 至 2003
• 项目状态: 已结题
• 来源: https://kaken.nii.ac.jp/en/grant/KAKENHI-PROJECT-13874056/
• 关键词: 極端紫外線; 超伝導トンネル接合素子; 多層膜; 望遠鏡; 反射鏡; EUV; STJ; 多層膜反射鏡; 1光子分光

本年度は、最終年度であるが、Mg2Si多層膜光学素子の設計・作製を中心に行った。多層膜光学素子の試作と最適化では、平成12年度に理化学研究所内に導入された多層膜成膜装置を用いて試作をする予定であったが、他の研究プロジェクトとの装置のシェアリングの関係で、Mg2SiではなくNi/Tiを用いた多層膜の製作を主に行い、本目的の曲面多層膜を作製するための装置の制御技術の習得を行った。Ni/Tiを用いた成膜精度は、当研究室が保有しているX線装置で評価し、本研究の多層膜が成膜する能力を十分に持つことを確認した。Mg2Siを用いた多層膜の作成を、別途、研究室で保有している通電過熱蒸着装置で試みたが、多層膜として機能させるにいたらなかった。層間の膜が相互拡散した等の原因を考えている。また、Mg2Siを成膜する為には、それに適した成膜装置が必要であることが解った。本予算はこれで、終了してしまうが、引き続き成膜の可能性を模索したい。光学系の設計に関しては、保有する超伝導接合素子(STJ)冷却用クライオスタットに取り付く小型望遠鏡の基本設計を完了させた。2回反射を利用したカセグレン型望遠鏡となっており、クライオスタット真空内の常温部に設置する構造とした。STJを0.3Kという極低温に保った状態で、集光した光を照射できるように熱シールド構造が十分にとれる設計を行った。本研究により、極端紫外線用の低温検出器を用いた望遠鏡の構築が十分に出来ることを確認したが、Mg2Siを用いた多層膜の製作という課題が残った。

This year であるが, the final year であるが, Mg2Si multilayer film optical element <s:1> design and fabrication を center に line った. Multilayer optical element と の try son optimization で は, pp.47-53 12 に riken institute に import さ れ た を multilayer film forming device with い て attempt を す る designated で あ っ た が, he の プ ロ ジ ェ ク ト と の device の シ ェ ア リ ン グ の masato で, Mg2Si で は な く Ni/Ti を い た multilayer の を main line に い making, this purpose <s:1> curved surface multilayer film を manufacturing するため <s:1> equipment <e:1> manufacturing technology <e:1> learned を practice った. Ni/Ti を い た film-forming は accuracy, when the laboratory が retain し て い る X-ray device で review 価 し, this study の multilayer film が film-forming す る ability を very に hold つ こ と を confirm し た. Mg2Si を with い の た multi-layers made を, don't stay, laboratory で retain し て い る electricity superheated steam with device で try み た が, multilayer film と し て function さ せ る に い た ら な か っ た. The <s:1> reasons for the mutual 拡 dispersion of interlayer <s:1> membranes, such as を examination of えて る る る る. ま た, Mg2Si を film-forming す る for に は, そ れ に optimum し た into membrane device が necessary で あ る こ と が solution っ た. This precalculation is based on れで まうが れで れで, the final て まうが まうが, and the <s:1> possibility of film formation を of <s:1> 続 and まうが た を. Light の design department of に masato し て は, retain す る son super 伝 guide connexin (STJ) cooling with ク ラ イ オ ス タ ッ ト に take り pay く small telescope の finished basic design を さ せ た. 2 back reflection を use し た カ セ グ レ ン telescope と な っ て お り, ク ラ イ オ ス タ ッ ト の room temperature department に set inside the vacuum す る tectonic と し た. STJ を 0.3 K と い う extremely low temperature に bartender っ た で, concentrated し た を sunlight で き る よ う に hot シ ー ル ド tectonic が very に と れ る line design を っ た. This study に よ り の 検 out at low temperature, extreme ultraviolet use を with い た telescope の build が very に out る こ と を confirm し た が, Mg2Si を with い の た multi-layers made と い う subject が residual っ た.

项目成果

C.Otani, Y.Takizawa, H.Sato, 他9名: "Development of Superconducting Tunnel Junctions as an Energy-Dispersive Detector for UV and Visible Photons"Physica C : Superconductivity. (出版中). (2002)

C.Otani、Y.Takizawa、H.Sato 和其他 9 人：“作为紫外和可见光子能量色散探测器的超导隧道结的开发”Physica C：超导（出版中）。

T.Oku, T.Ikeda, C.Otani他11名: "Development of a superconducting analog-to-digital converter as a readout for high-resolution X-ray detectorsbased on a"IEICE Transactions on Fundamentals of Electronics, Communications. (出版中). (2002)

T.Oku、T.Ikeda、C.Otani 和其他 11 人：“基于《IEICE 电子、通信基础知识汇刊》开发超导模数转换器作为高分辨率 X 射线探测器的读出装置。正在出版）（2002）。

Y.Takizawa, C.Otani, H.Sato, 他9名: "Development of superconducting tunnel junctions for EUV Detectors"Surface Review and Letters. (出版中). (2002)

Y.Takizawa、C.Otani、H.Sato 和其他 9 人：“EUV 探测器超导隧道结的开发”表面评论和快报（2002 年）。

Y.Takizawa, T.Ikeda, T.Oku, C.Otani, K.Kawai, H.Sato, H.M.Shimizu: "Development of superconducting tunnel junctions for EUV Detectors"Surface Review and Letters. 9. 561-565 (2002)

Y.Takizawa、T.Ikeda、T.Oku、C.Otani、K.Kawai、H.Sato、H.M.Shimizu：“EUV 探测器超导隧道结的开发”表面评论和快报。

C.Otani, Y.Takizawa, H.Sato他9名: "Development of Superconducting Tunnel Junctions as an Energy-Dispersive Detector for UV and Visible Photons"PhysicaC : Supcrconductivity. 372-376. 399-402 (2002)

C.Otani、Y.Takizawa、H.Sato 和其他 9 人：“作为紫外和可见光子能量色散探测器的超导隧道结的开发”PhysicaC：超导性 372-376 (2002)。