权益分类	功能权益	普通用户	{{item.name}}会员
{{category.name}}	{{benefitItem.name}}

高指数結晶方位を持つ超平滑基板表面の創製とその微細構造評価

具有高指数晶体取向的超光滑基底表面的创建及其微观结构的评估

基本信息

批准号：
13875030
负责人：
大西直之
金额：
$ 1.41万
依托单位：
Chubu University
依托单位国家：
日本
项目类别：
Grant-in-Aid for Exploratory Research
财政年份：
2001
资助国家：
日本
起止时间：
2001 至 2002
项目状态：
已结题

项目摘要

これまでに、フッ化カルシウム(CaF_2)単結晶のフロートポリシング法(FP)による超精密研磨表面が、(111)面のステップ構造で構成されていることが高分解能透過電子顕微鏡(HRTEM)によるナノ構造解析により見いだされた。解析の結果、ステップの間隔は研磨面の(111)面からの角度のずれに依存していることが予想された。機械的研磨のみを行った大型のバルク単結晶でこのような表面構造が実際に確認された例は報告されていない。平成14年度においては更に、この表面ステップの間隔を制御することを目的として、レーザー光を用いて(111)格子面と加工面とのずれを正確に測定し加工を行った。この方法により加工面と(111)面の成す角度を約0.05〜2度の範囲で制御した複数の試料についてFPによる超精密研磨を行い、その表面ステップ構造を走査型プローブ顕微鏡(SPM)で評価した。その結果、研磨表面はほぼCaF_2の(111)面間隔に相当する高さのステップで構成されており、その形状からHRTEMで見いだされた(111)面のステップ構造と一致することが確認された。更に、SPMで測定されたステップ間隔は加工面と(111)面の角度にほぼ対応して変化することが明らかとなった。なお、超精密研磨の予備加工(精密研削)の段階では、結晶内の(111)面に対する研削の向きによって表面粗さが系統的に変化することも明らかとなった。以上の結果より、フロートポリシング法による超精密研磨を用いて、バルク単結晶の高指数面機械加工により、原子レベルのステップが配列した超平滑面を得ることができ、またそのステップ間隔を一定範囲で制御可能であることが示された。ステップのない周期構造を有する面は、本研究計画の期限内で実施した系については得ることができず今後の課題となった。

これまでに、フッ化カルシウム(CaF_2) 単Crystal のフロートポリシング method (FP) によるUltra-precision polished surfaceが, (111) The structure of the surface is analyzed by high-resolution electron microscopy (HRTEM). The results of the analysis, the ステップのinterval はlapping surface の (111) surface からのANGLE のずれにdependence していることが yu think された. Mechanical grinding and polishing, large-scale grinding, crystallization, surface structure, confirmation, and case report. Heisei 14 year においてはchangeに、このsurfaceステップのintervalをcontrolすることをpurposeとして、レーザー光を用いて(111) lattice surface and processed surface とのずれをcorrect measurement of しprocessingを行った. The method of processing the surface and the angle of the (111) surface is about 0.05 to 2 degrees. The angle of the surface is about 0.05 to 2 degrees. FP's ultra-precision grinding line, surface inspection structure and walk-through type micromirror (SPM) are evaluated.その results, grinding surface はほぼCaF_2の (111) surface spacing にする高さのステップで constitute されており, そのshapedからHRTEMで见いだされた (111) surface のステップstructure と consistence することがconfirm された. Update, SPM is used to measure the angle of the machined surface and the angle of the machined surface (111).なお, ultra-precision grinding preparatory processing (precision grinding) stage では, crystal inner surface の(111)対するThe surface is roughened by grinding, and the surface is roughened by the system. The results of the above are より, フロートポリシング法による, ultra-precision grinding を, いて, バルク単crystallization, high-index surface machining, により, atomic レベルのステップが配arrayしたsuper smooth surface をget ることができ、またそThere is a certain range of space between them and it is possible to control them. The periodic structure of the research project has its own surface, and the project of this research project within the time limit is the future project.