ダイヤモンド薄膜の複合電極を利用したフラット蛍光ランプの基礎研究

金刚石薄膜复合电极平面荧光灯基础研究

• 批准号: 16656091
• 负责人: 荒井 俊彦
• 金额: $ 1.86万
• 依托单位: Kanagawa Institute of Technology
• 依托单位国家: 日本
• 项目类别: Grant-in-Aid for Exploratory Research
• 财政年份: 2004
• 资助国家: 日本
• 起止时间: 2004 至 2005
• 项目状态: 已结题
• 来源: https://kaken.nii.ac.jp/en/grant/KAKENHI-PROJECT-16656091/
• 关键词: 液晶バックライト; ネオンプラズマ; 冷陰極; 多結晶ダイヤモンド; MgO; 放電開始電圧; ダイヤモンドエッチング; 反応性イオンエッチング; 二次電子放出

本研究は希ガス放電を用い、無水銀平面放電型蛍光ランプの発光の高効率化を目的としている。特に多結晶ダイヤモンド薄膜の電極応用の可能性について検討することが2年間の主たる目標である。平成16年度に異なった電極材料の放電特性を評価できるシステムを設計・製作した。このシステムは10mm角の電極用サンプルがスペーサおよび開口部を有する石英製カバーを用いて、2mmのギャップで対向できるようにしてある。サンプルホルダーは真空チャンバー内に設置し、放電の様子が観測できるように石英製窓付きである。電極として用いるサンプル間に10kHzの正弦波電圧を印加した。放電特性は容量性負荷の場合に有効であるVQレサージュ図形法を用いて測定する。平成17年度は電極の放電特性が電極表面の粗さに影響を及ぼすかを主に検討した。電極のサンプルには多結晶ダイヤモンドとMgOを用いた。Neガスで各サンプルについて放電特性システムで放電開始電圧とPd(ガス圧p、電極間距離d)値との関係を測定した。この結果、ダイヤモンドの粗い表面での放電開始電圧が研磨した表面のものより低いことがわかった。MgO単結晶についても同様に放電開始電圧は表面状態を粗くすると低くなることがわかった。これは表面を粗くすることで電極表面積は増加し、電極放出効率が向上することによると見られる。表面の粗さの形状を変えれば、さらに電子放出が高まる可能性がある。ダイヤモンドを電極に応用するためには、微細加工が必要となる。ダイヤモンドの表面を粗くすることにより低電圧化になることがわかった。このため反応性イオンエッチング装置を用いてダイヤモンドの電極加工に必要なエッチングの高速化についても検討した。エッチングガスには酸素を使用した。カソードにMgO焼結体を設置した場合、ダイヤモンドのエッチング速度はステンレス電極に比べて約50%増加することがわかった。

This study aims to improve the efficiency of light emission from mercury-free planar lithium. In particular, the possibility of electrode application of polycrystalline thin films was investigated for the purpose of 2 years. Evaluation of the characteristics of different electrode materials in 2016 This type of structure is 10mm angle electrode, and the electrode has quartz structure, 2mm angle electrode and opening. In the vacuum chamber, the quartz crystal is set up and the quartz crystal is set up. 10kHz sine wave voltage applied to electrodes In the case of capacity load, the VQ method is used to determine the discharge characteristics. In 2017, the influence of electrode surface roughness on electrode characteristics was discussed. The electrode is made of polycrystalline silicon. The relationship between the initial voltage Pd(p, d) and the electrode distance was determined. As a result of this, the surface of the ground surface MgO crystals are in the same state as the surface. The surface area of the electrode increases, and the discharge rate increases. The surface roughness is changed, and the electron emission is highly probable. It is necessary to use micromachining in the electrode. The surface of the film is thick, and the film has a low voltage. This kind of equipment is used in electrode machining, which is necessary for high speed machining.エッチングガスには酸素を使用した。When MgO sintered body is installed, the speed of sintering is increased by about 50% compared with that of sintering electrode.

项目成果

Breakdown voltage of electrode material for LCD back lighting

LCD背光源电极材料的击穿电压

• 发表时间: 2005
• 期刊: Proceedings 27^<th> International Conference on Phenomena Ionized Gases
• 作者: T.Misu;T.Yanai;M.Goto;T.Arai
• 通讯作者: T.Arai

Reactive Ion Etching of CVD Diamond Thin Films in 02/CF4 Plasma

02/CF4 等离子体中 CVD 金刚石薄膜的反应离子刻蚀

• 发表时间: 2004
• 期刊: Czechoslovak Journal of Physics 54
• 作者: T.Misu;M.Goto;T.Arai
• 通讯作者: T.Arai