生体高分子の分子サージャリ用デュアルナノプローブの開発

用于生物聚合物分子手术的双纳米探针的开发

基本信息

  • 批准号:
    19650110
  • 负责人:
  • 金额:
    $ 1.79万
  • 依托单位:
  • 依托单位国家:
    日本
  • 项目类别:
    Grant-in-Aid for Exploratory Research
  • 财政年份:
    2007
  • 资助国家:
    日本
  • 起止时间:
    2007 至 无数据
  • 项目状态:
    已结题

项目摘要

生体高分子の原子間力顕微鏡(AFM)像を高解像観察しながら、狙った箇所の分子鎖を切断操作するためのデュアルナノプローブの開発を行い、以下の基盤技術を確立した。1.微細加工技術によるデュアルナノプローブ形成(1)単結晶シリコンの結晶面で構成される2連の三角錐状ナノ探針を形成するナノマシニングプロセスを考案し、先端の間隙が約2μmで高さが5μmのデュアルプローブのプロトタイプを実現した。また、それぞれのナノ探針を2本のシリコンカンチレバー上に高精度に一体形成するプロセスを確立した。(2)プローブ先端を近接させるために、電子線マスク描画、マスク層のエッチング、シリコンの反応性イオンエッチング(DRIE)によるトレンチ加工および結晶異方性エッチングの各条件を適正化し、SiNマスク層の加工形状を制御して開口幅を狭め、これを用いてトレンチ加工するプロセスを開発し、プローブ間隙を100nm程度まで近接できる見通しを得た。2.デュアルナノプローブによる分子像観察および分子操作手法の検討(1)試料表面のタッピングによる分子像観察の際に他方のプローブへの振動の影響を防ぐために、双方のシリコンカンチレバーを異なる共振周波数で設計し、これを形成するプロセスを確立した。(2)シリコンカンチレバー上へ銅薄膜を積層した熱型アクチュエータを形成し、通電加熱でμmオーダーの変位が得られることを見出し、試料表面から離すためのプローブ上下動機構実現の見通しを得た。(3)酸化シリコン基板表面に固定した直鎖状のヒアルロン酸分子を用い、分子を機械的に切断する手法の基礎的な検討を行い、100nN程度の押し込み力を加えてナノプローブ先端でスクラッチすることにより、数10nm幅、高さ1nm程度の紐状の分子を機械的に切断可能であることを見出した。
High resolution AFM imaging of living polymers has been developed to detect and detect molecular locks in individual molecules. The following substrate technologies have been established. 1. Micromachining technology: (1) The crystal plane of a single crystal is composed of two connected triangular pyramidal probes. The tip gap is about 2μm and the height of the tip is about 5μm. In addition, a solution has been established for the high-precision integrated formation of the existing nano-probes on two sets of Seriicon switches. (2)The processing conditions of the crystal anisotropic layer (DRIE) are normalized. The processing shape of the SiN crystal layer is controlled. The opening width is narrowed. The processing conditions of the SiN crystal layer are opened. The gap is 100nm. The gap is 100nm. 2. Molecular image detection and molecular manipulation methods for sample surface analysis (1) Molecular image detection and molecular manipulation methods for sample surface analysis (2) To prevent the influence of vibration of other molecules on sample surface analysis (3) To establish the resonance frequency of different samples. (2)The copper thin film on the surface of the sample is heated to form a hot film. The film is heated to form a hot film. The film is heated to form a hot film. (3)The basic model of the method of fixing the acid on the surface of the substrate is discussed, and the pressure of the molecule is increased to the extent of 100 nm.

项目成果

期刊论文数量(2)
专著数量(0)
科研奖励数量(0)
会议论文数量(0)
专利数量(0)
近接デュアルAFMプローブ形成のためのSiナノマシニング
用于近距离双 AFM 探针形成的硅纳米加工
  • DOI:
  • 发表时间:
    2008
  • 期刊:
  • 影响因子:
    0
  • 作者:
    盛田慎二;峯田貴;牧野英司;柴田隆行
  • 通讯作者:
    柴田隆行
Siエッチングによる原子間力顕微鏡用デュアルナノプローブの形成
通过硅蚀刻形成原子力显微镜用双纳米探针
  • DOI:
  • 发表时间:
    2007
  • 期刊:
  • 影响因子:
    0
  • 作者:
    盛田慎二;峯田貴;牧野英司;柴田隆行
  • 通讯作者:
    柴田隆行
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  • DOI:
  • 发表时间:
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  • 期刊:
  • 影响因子:
    0
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  • 通讯作者:
    岩崎 健二
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  • DOI:
  • 发表时间:
    2007
  • 期刊:
  • 影响因子:
    0
  • 作者:
    中西 彬;酒井貴浩;柴田隆行;川島貴弘;堀内 宰;峯田 貴;牧野英司
  • 通讯作者:
    牧野英司
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  • DOI:
  • 发表时间:
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  • 期刊:
  • 影响因子:
    0
  • 作者:
    川島健太, 岡崎禎子;古屋泰文;牧野英司;峯田 貴;Takaaki Oiwa
  • 通讯作者:
    Takaaki Oiwa
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  • DOI:
  • 发表时间:
    2019
  • 期刊:
  • 影响因子:
    0
  • 作者:
    徐 嘉楽;木村 友翼;辻 一樹;阿部 喜;清水 智巨;長谷川 博康;峯田 貴
  • 通讯作者:
    峯田 貴

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  • 发表时间:
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  • 作者:
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  • 通讯作者:
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    2024
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    $ 1.79万
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  • 项目类别:
    Grant-in-Aid for Scientific Research (B)

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