权益分类	功能权益	普通用户	{{item.name}}会员
{{category.name}}	{{benefitItem.name}}

有機超薄膜評価用の超解像光走査トンネル顕微鏡の開発と近視野電磁場解析法の確立

有机超薄膜评价用超分辨光学扫描隧道显微镜的研制及近场电磁场分析方法的建立

基本信息

批准号：
02452084
负责人：
大津元一
金额：
$ 4.48万
依托单位：
Tokyo Institute of Technology
依托单位国家：
日本
项目类别：
Grant-in-Aid for General Scientific Research (B)
财政年份：
1990
资助国家：
日本
起止时间：
1990 至无数据
项目状态：
已结题

来源：
https://kaken.nii.ac.jp/en/grant/KAKENHI-PROJECT-02452084/
关键词：
波動光学ファイバ共振器半導体レ-ザ分解能

项目摘要

近視野での波動光学の解析を行った結果、測定感度、及び横、縦分解能が互いに、相関を持ち、ショット雑音限界では横分解能は10nm、縦分解能は1nmという優れた値が得られることが判明した。これにより近視野電磁場解析の基礎を確立することが出来た。ファイバ・ピックアップの先鋭化をフッ酸溶液により行う方法を見いだし、先端曲率半径80nm以下のものをつくることが出来た。また、電子ビ-ム蒸着法によりクロム、金薄膜を先端に均一蒸着することができた。微小開口は放電法、衝突法で作成することができ、開口径20nm以下のファイバ・ピックアップの作成法を確立した。光源としての半導体レ-ザの高コヒ-レント化に成功し、スペクトル線幅7Hz、を得た。また、参照用の共振器の共振周波数を掃引することによりこのレ-ザの波長を精密に5nmの範囲にわたり掃引した。光走査トンネル顕微鏡のシステムを製作した。分解能を評価するために厚さ15nmのSiO_2薄膜、さらに複眼光メモリ-の表面形状を測定した結果、横分解能20nm以内、縦分解能1nmが得られた。これは有機超薄膜中の微小開口、リン脂質、などの形状測定には十分な性能であり、有機超薄膜評価用の優れたシステムであることを確認した。さらに高分解能の光走査トンネル顕微鏡を新たに提案した。これは端面に微小開口を持ったファブリ・ペロ-共振器をプロ-ブとし、その共振周波数の微小シフト量を測定する方法を採用している。つまり、これは反射共振型と呼ぶべきものである。これによる横、縦分解能のショット雑音限界はそれぞれ1nm,0.1nm以内であることが判明した。また、これらのプロ-ブを用い、原子の動きの操作、さらに単原子の結晶成長の可能性を提案した。

Near field of view ratio optical resolution line results, measurement sensitivity, and horizontal, horizontal resolution energy, correlation, sound limit, horizontal resolution energy, 10nm, horizontal resolution energy, 1nm. The foundation of near field electromagnetic field analysis is established. The method of sharpening the tip with a radius of curvature below 80nm is described. Evaporation of gold thin films The method of making micro-openings with diameters below 20nm is established. Light source and semiconductor circuit are successfully converted to high voltage, and the line amplitude is 7Hz. The resonant frequency of the resonator for reference is swept to a precise wavelength of 5nm. The optical microscope system was fabricated. The decomposition energy of SiO_2 thin film with thickness of 15nm was evaluated. The surface shape of SiO_2 thin film with thickness of 15nm was measured. The transverse decomposition energy was less than 20nm. The decomposition energy of SiO_2 thin film was 1nm. The micro-openings, lipids and shapes in organic ultra-thin films were determined. The properties of organic ultra-thin films were evaluated. A new optical microscope with high resolution energy is proposed. This method is used to measure the micro-frequency of the resonant frequency of the resonator with a micro-opening at the end face.つまり、これは反射共振型と呼ぶべきものである。The horizontal and vertical decomposition energy is determined within 1nm and 0.1nm This paper discusses the possibility of atomic crystal growth and the operation of atomic motion.