金属シリサイド/シリコン接合のショットキー障壁高さに関する研究
金属硅化物/硅结肖特基势垒高度研究
基本信息
- 批准号:X00080----546056
- 负责人:
- 金额:$ 5.82万
- 依托单位:
- 依托单位国家:日本
- 项目类别:Grant-in-Aid for General Scientific Research (B)
- 财政年份:1980
- 资助国家:日本
- 起止时间:1980 至 1982
- 项目状态:已结题
- 来源:
- 关键词:
项目摘要
项目成果
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