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画像処理を用いたプラズマ診断法によるアモルファス・カーボン薄膜生成法の評価と改良

使用图像处理等离子诊断方法评估和改进非晶碳薄膜生产方法

基本信息

批准号：
04650228
负责人：
伊藤秀範
金额：
$ 1.28万
依托单位：
Muroran Institute of Technology
依托单位国家：
日本
项目类别：
Grant-in-Aid for General Scientific Research (C)
财政年份：
1992
资助国家：
日本
起止时间：
1992 至无数据
项目状态：
已结题

项目摘要

本研究の目的は、各種反応性プラズマの特性解析のために構築を進めている画像処理を用いたプラズマ分光診断装置を、メタンと水素混合ガスのRFプラズマに適用して、同時に進行している計算機シミュレーションによるモデリングとの対応からアモルファス・カーボン薄膜生成法の評価を行い、プロセスの改良に関する指針を得ることである。得られた結果を以下に要約する。1. 整合器を2台加え、電源のリモート回路を製作した。これによって0.1〜1.6MHzの範囲で、任意の周波数の電力を最大500Wまで、有効、無効電力を電圧値でモニタしながらギャップ間に供給して安定なプラズマを作ることができるようになった。2. 吹き出し電極を設計製作し、2系統のマスフローコントローラを加えて、ガスフローシステムを完成させた。結果として生成するプラズマの混合比ならびに流速に関する精密な設定ができるようになった。3. 高速ゲート型イメージインテンシファイアを加え、ゲート回路の製作によって、狭い範囲ながら時間分解機能を付加することができた。4. 以上の装置の性能向上によって、気圧をパラメータとしたときの自己バイアス変化による発光の時間変化や流速、混合比、周波数をパラメータとした各種スペクトルのそれぞれの時空分解を行うことができた。今後周波数範囲を広げること、時間分解能を上げること、基板加熱装置を付加することを予定しているが、これまでの一連の成果に対して、英国電気学会(IEE)より論文投稿を勧められている。5. 計算機シミュレーションに必要なメタンの電子衝突断面積のセットを求めた。現在、水素のセットを求めるべくボルツマン方程式解析を継続している。同時にモンテカルロ法によるRFプラズマの解析方法の開発を進めており、その成果を近く発表することにしている。

In this study, the purpose of this study is to analyze the characteristics of various kinds of reactions. in this study, the purpose of this study is to analyze the characteristics of various kinds of reactions. in this study, the purpose of this study is to analyze the characteristics of various kinds of reactions. the image of the picture is analyzed by the use of a spectroscopic device, a mixture of water and water, and the use of a RF device. At the same time, it is necessary to use the computer to improve the performance of the thin film generation method. The results show that the following requirements are important. 1. The integrator is responsible for the operation of 2 sets of add-ons and power sources. In the range of 0.1~1.6MHz, any cycle wave number, the maximum power supply is 500W, with or without power supply. It is available for the safety and safety of thermal stability equipment. two。 The electrical equipment is designed to be used as a device, and the 2-system system is designed to complete the operation. Results the results show that the speed of flow rate is higher than that of the temperature, and the precision setting of the flow rate is more accurate than that of the control. 3. The high-speed transmission equipment is used to increase the speed, the circuit is used to operate, and the narrow range of the time decomposition machine can be used to increase the price. 4. The performance of the above devices is higher than that of the above devices, and the performance of the above devices is higher than that of the above devices. the performance of the above devices is higher than that of the above devices, and the performance of the above devices is higher than that of the above devices. In the future, the wavenumber range can be adjusted, the time decomposition can be used, the substrate processing device can be used to predict the performance of the system, and the British Institute of Electronics (IEE) will be responsible for the contribution of articles. 5. The computer does not need to ask for the necessary information about the sudden section of the computer. Now, the water content is very simple, and the equation is analyzed. At the same time, the RF analysis method is used to analyze the results of the analysis and the recent table of the results.