二元同時スパッタ法による多層金属窒化物膜の作製
双组分溅射法制备多层金属氮化物薄膜
基本信息
- 批准号:04650702
- 负责人:
- 金额:$ 1.22万
- 依托单位:
- 依托单位国家:日本
- 项目类别:Grant-in-Aid for General Scientific Research (C)
- 财政年份:1992
- 资助国家:日本
- 起止时间:1992 至 无数据
- 项目状态:已结题
- 来源:
- 关键词:
项目摘要
多層構造や微粒子分散型の機能性金属窒化物膜開発の基礎研究として3つの金属窒化物系について研究を行い、以下に示す結果を得た。(1)高熱伝導性絶縁膜:ウルツ鉱型A1N薄膜上にBNをスパッタ蒸着することによって立方晶BNの生成率を向上させる事ができた。その際A1N膜の表面組織が立方晶BNの生成ならびに積層膜の物性に強く影響するため、A1N膜の優先配向制御のスパッタ条件、特にA1NのC面配向とスパッタ粒子のエネルギー、基板温度ならびにスパッタガス圧などとの関連性を系統的に検討し、C面配向度ほぼ100%で且つ緻密なA1N薄膜を作製するスパッタ条件を得ることができた。(2)多層型磁性膜:窒化鉄FeNxの作製中のスパッタ条件、特にスパッタガス中の窒素分圧を変化させることによって、FeN_<1/4>などの強磁性相とFeN_<1/2>などの常磁性相との積層膜を作製し、その磁気特性の評価を進めているが、今回窒化鉄の新しい結晶相として、Feの面心立方格子を持つFeNx(x=0.6〜0.7)を合成することができた。この結晶相は室温では常磁性を示すが、液体窒素温度では2つの磁気副格子を持つ磁性体である。FeN_<1/4>相と新しく得られた窒化鉄相との積層膜においては、温度を制御することによって、2種類の磁性相を積層した状態と磁性相と常磁性相を積層した状態間の可逆的な変化を行うことが可能である。(3)磁性超微粒子分散型薄膜:超微粒子磁性体の研究において、各微粒子を独立した状態、すなわちアグリゲイトしない状態に保つことが基本的に重要である。本研究では先ずSi-Fe-N系アモルファス膜を作成し、それを適当な温度で熱処理してSi系のアモルファス膜中に強磁性鉄化合物を析出させ、その磁気的評価を行っている。アモルファス中のFeについてはEXAFSで解析し、Ar中及びN_2中で作製した試料で、それぞれFe-Si、Fe-N結合が存在する事を明らかにした。
The preparation of microparticle dispersed functional metal asphyxiant membranes has been successfully conducted in the study of metal asphyxiation system. The results are as follows. (1) High quality film: the BN film on the A1N film is steamed with the growth rate of cubic BN. The surface tissue of the international A1N film, the cubic crystal BN, the physical properties of the film, the physical properties of the film, the temperature of the substrate, and the temperature of the substrate. The degree of alignment of the C plane is 100% and the density of the A1N film is high. (2) Multi-type magnetic film: asphyxiating FeNx in the medium and high temperature conditions, special concentration of asphyxiant, chemical composition of asphyxiant, strong magnetic phase of FeN _ & lt;1/2> in FeN_<1/4>. The normal magnetic phase, the active film, the magnetic properties, the crystal phase, the Fe face-centered square lattice and the FeNx (x = 0.6-0.7) were used to synthesize the crystal phase. The normal magnetic properties of the crystal phase at room temperature and the temperature of liquid asphyxiate at room temperature show that the magnetic sub-lattice holds the magnetic body. The new phase of FeN_<1/4> has the effect of high temperature, high temperature (3) dispersed thin film of magnetic ultrafine particles: ultrafine particle magnets are studied independently, each microparticle is independent of its shape, and the state of each particle is important. The purpose of this study is to investigate the precipitation of strong magnetic compounds in the films of Si-Fe-N, Si, Si, Si and Si films. There are some information about the combination of Fe, Fe-Si, and Fe-N in Ar, NL2 and so on.
项目成果
期刊论文数量(12)
专著数量(0)
科研奖励数量(0)
会议论文数量(0)
专利数量(0)
金丸 文一(編集): "実験化学講座16巻無機化合物" 丸善, 643 (1993)
金丸文一(主编):《实验化学教程第16卷无机化合物》丸善,643(1993)
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- 发表时间:
- 期刊:
- 影响因子:0
- 作者:
- 通讯作者:
S.Kikkawa,M.Takahashi and F.Kanamaru: "Metal Nitride Composites in Nano-Scale as Functional Ceramics" Mem.Inst.Sci.Ind.Res.,Osaka University. 49. 3-12 (1992)
S.Kikkawa、M.Takahashi 和 F.Kanamaru:“纳米级金属氮化物复合材料作为功能陶瓷”Mem.Inst.Sci.Ind.Res.,大阪大学。
- DOI:
- 发表时间:
- 期刊:
- 影响因子:0
- 作者:
- 通讯作者:
M.Takahashi,F.Kanamaru: "Electronic Properties and Crystal Structures for Transition Metal Nitrides Solid Solutions." Proceeding of International Conference on Electronic Composits and Materials. (1993)
M.Takahashi,F.Kanamaru:“过渡金属氮化物固溶体的电子性质和晶体结构。”
- DOI:
- 发表时间:
- 期刊:
- 影响因子:0
- 作者:
- 通讯作者:
M.Takahashi,H.Fujii H.Nakagawa,S.Nasu F.Kanamaru: "Structure and Electronic and Magnetic Properties of Sputter-deposited New Iron Nitrides." Ferrite:Proceeding of the 6th International Conference on Ferrites. (1993)
M.Takahashi、H.Fujii H.Nakakawa、S.Nasu F.Kanamaru:“溅射沉积的新型氮化铁的结构以及电子和磁性。”
- DOI:
- 发表时间:
- 期刊:
- 影响因子:0
- 作者:
- 通讯作者:
Y.Nakagiri,K.Nobugai F.Kanamaru,T.Miyasato: "Surface-acoustic-wave Attenuation in a β-alumine.Thin Film." Physical Review B. 45. -6153 (1992)
Y.Nakagiri、K.Nobugai F.Kanamaru、T.Miyasato:“β-铝中的表面声波衰减。薄膜物理评论 B. 45.-6153 (1992)
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