炭化ケイ素ウィスカ-から発生する低温プラズマを利用した環境汚染ガスの分解

利用碳化硅晶须产生的低温等离子体分解环境污染气体

基本信息

  • 批准号:
    06650953
  • 负责人:
  • 金额:
    $ 1.47万
  • 依托单位:
  • 依托单位国家:
    日本
  • 项目类别:
    Grant-in-Aid for General Scientific Research (C)
  • 财政年份:
    1994
  • 资助国家:
    日本
  • 起止时间:
    1994 至 无数据
  • 项目状态:
    已结题

项目摘要

1.マイクロ波誘起低温プラズマの発生機構の解明硫黄含有シリコーンオイルの熱分解法で調製した炭化ケイ素(SiC)ウィスカ-の導電率は、室温で10^2〜10^4Scm^<-1>と著しく高かった。この導電率の高いSiCウィスカ-や炭素繊維にマイクロ波を照射すると低温プラズマが発生したが、導電率の低いアルミナウ-ルやSnO_2ウィスカ-の場合には発生しなかった。また、様々な雰囲気でSiCウィスカ-から発生するプラズマのスペクトル解析を行った。その結果、SiCウィスカ-からマイクロ波誘起プラズマが発生する機構として、電磁誘導によってSiCウィスカ-から放出された熱電子によって周囲のガス分子がプラズマ状態になることが示唆された。2.マイクロ波誘起低温プラズマを利用した環境汚染ガスの分解SiCウィスカ-から発生するマイクロ波誘起低温プラズマを利用して、フロン113の分解を試みた。SiCウィスカ-からプラズマが発生し始める30〜40wのマイクロ波出力でフロン113が分解し始めた。マイクロ波出力の増加とともにフロン113の転化率は増加し、出力が70〜80W〜よってフロン113の転化率はほとんど変化しなかったが、分解生成物であるフロン11やフロン12の生成量が減少し、フロン113の完全分解が促進されることがわかった。また、このマイクロ波誘起低温プラズマを利用して、フロン113の連続分解も可能であることを確認した。
1. The low-temperature プラズマの発genic mechanism caused by makoro waves is clarified that sulfur containing シリコーンオイルの thermal decomposition method is prepared and carbonized The electrical conductivity of SiC (SiC) is 10^2~10^4Scm^<-1> at room temperature, and the conductivity is high.この Conductivity of high いSiC ウィスカ-やcarbon 繊dimensional にマイクロwave をirradiation するとlow temperature プラズマが発生したが, low conductivity いアルミナウ-ルやSnO_2 ウィスカ-のoccasion には発生しなかった.また、様々な风囲気でSiCウィスカ-から発生するプラズマのスペクトルanalytic を行った.そのRESULTS, SiC ウィスカ-からマイクロwave induced プラズマが発生するMechanism として, electromagnetic induction によってS iCウィスカ-からreleases hot electrons and heats electrons. 2. The low-temperature プラズマを induced by the makoko wave uses the environmental pollution ガスの decomposition SiC ウィスカ-かThe ら発生するマイクロwave induces low-temperature プラズマを use して, フロン 113 decomposition を test みた. SiC ウィスカ-からプラズマが発生し开める30~40wのマイクロ波力でフロン113が开户が. The conversion rate of the Masako wave output is increased, Output is 70~80W~The transformation rate of よってフロン113 is high The production amount of しなかったが and the decomposition product であるフロン11やフロン12がReduce, フロン113のComplete decomposition and がPromote されることがわかった.また, このマイクロwave induces low-temperature プラズマを using して, フロン113の连続 decomposition is possible and であることをconfirmed した.

项目成果

期刊论文数量(2)
专著数量(0)
科研奖励数量(0)
会议论文数量(0)
专利数量(0)
M.Egashira: "Decomposition of Fluorcarbon by Microwave-Induced-Plasma Generated from SiC Whiskers" Proc.of Intern.Symp.on Enviromental Issues of Ceramics.Sappro.Oct.19-20,. (in press).
M.Egashira:“碳化硅晶须产生的微波诱导等离子体分解氟碳”Proc.of Intern.Symp.on Ceramics.Sappro.Oct.19-20,。
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