Modeling and suppression of the striation formation arising during spincoating of photoresist films

光致抗蚀剂薄膜旋涂过程中出现的条纹形成的建模和抑制

基本信息

  • 批准号：
    17H07158
  • 负责人：
    Shiratori Suguru
  • 金额：
    $ 1.91万
  • 依托单位：
    Tokyo City University
  • 依托单位国家：
    日本
  • 项目类别：
    Grant-in-Aid for Research Activity Start-up
  • 财政年份：
    2017
  • 资助国家：
    日本
  • 起止时间：
    2017-08-25 至 2019-03-31
  • 项目状态：
    已结题

项目摘要

项目成果

期刊论文数量（5）
专著数量（0）
科研奖励数量（0）
会议论文数量（0）
专利数量（0）
薄液膜の塗布時に発生する放射状スジムラの形成機構
液膜涂覆过程中径向条纹的形成机制
  • DOI：
  • 发表时间：
    2017
  • 期刊：
  • 影响因子：
    0
  • 作者：
    林和眞;塩地彩加;白鳥 英，永野 秀明，島野 健仁郎
  • 通讯作者：
    白鳥 英，永野 秀明，島野 健仁郎
回転基板上の液膜流れにおけるマランゴニ数の過渡変化
旋转基底上液膜流中马兰戈尼数的瞬态变化
  • DOI：
  • 发表时间：
    2018
  • 期刊：
  • 影响因子：
    0
  • 作者：
    Suguru Shiratori;Hideaki Nagano and Kenjiro Shimano;佐野竜平;白鳥 英，永野 秀明，島野 健仁郎
  • 通讯作者：
    白鳥 英，永野 秀明，島野 健仁郎
遠心力場での液膜流れに関する線形安定性解析
离心力场中液膜流动的线性稳定性分析
  • DOI：
  • 发表时间：
    2017
  • 期刊：
    ながれ
  • 影响因子：
    0
  • 作者：
    榎波晨悟;斎藤健太;阿部圭佐; 塩本公平;Kohei Shiomoto;舘葉月;Hazuki Tate;佐野竜平;Hwajin lim;Hazuki Tate;白鳥 英，島野 健仁郎，永野 秀明
  • 通讯作者：
    白鳥 英，島野 健仁郎，永野 秀明
Linear stability analysis on liquid film flow on the rotating disc
转盘上液膜流动的线性稳定性分析
  • DOI：
  • 发表时间：
    2018
  • 期刊：
  • 影响因子：
    0
  • 作者：
    Suguru Shiratori;Hideaki Nagano and Kenjiro Shimano
  • 通讯作者：
    Hideaki Nagano and Kenjiro Shimano
{{ item.title }}
{{ item.translation_title }}
  • DOI：
    {{ item.doi }}
  • 发表时间：
    {{ item.publish_year }}
  • 期刊：
    {{ item.journal_name }}
  • 影响因子：
    {{ item.factor }}
  • 作者：
    {{ item.authors }}
  • 通讯作者：
    {{ item.author }}

数据更新时间：{{ journalArticles.updateTime }}

{{ item.title }}
  • 作者：
    {{ item.author }}

数据更新时间：{{ monograph.updateTime }}

{{ item.title }}
  • 作者：
    {{ item.author }}

数据更新时间：{{ sciAawards.updateTime }}

{{ item.title }}
  • 作者：
    {{ item.author }}

数据更新时间：{{ conferencePapers.updateTime }}

{{ item.title }}
  • 作者：
    {{ item.author }}

数据更新时间：{{ patent.updateTime }}

Shiratori Suguru其他文献

Spatio-temporal thickness variation and transient Marangoni number in striations during spin coating
旋涂过程中条纹中的时空厚度变化和瞬态马兰戈尼数
  • DOI：
    10.1016/j.ijheatmasstransfer.2020.119678
  • 发表时间：
    2020
  • 期刊：
    International Journal of Heat and Mass Transfer
  • 影响因子：
    5.2
  • 作者：
    Shiratori Suguru;Kato Daiki;Sugasawa Kyosuke;Nagano Hideaki;Shimano Kenjiro
  • 通讯作者：
    Shimano Kenjiro
Physics-Informed Neural Networkにおける活性化関数の種別の影響
物理信息神经网络中激活函数类型的影响
  • DOI：
  • 发表时间：
    2022
  • 期刊：
  • 影响因子：
    0
  • 作者：
    Shiratori Suguru;Nagano Hideaki;Shimano Kenjiro;杉原 伊織，白鳥 英，永野 秀明，島野 健仁郎
  • 通讯作者：
    杉原 伊織，白鳥 英，永野 秀明，島野 健仁郎
月刊ファインケミカル3月号
精细化工月刊三月号
  • DOI：
  • 发表时间：
    2022
  • 期刊：
  • 影响因子：
    0
  • 作者：
    Hayasaka You;Kuribayashi Kazuhiko;Shiratori Suguru;Ozawa Shumpei;宮﨑　司
  • 通讯作者：
    宮﨑　司
Semi-analytical solution for deformation of elastic/viscoelastic two-layered films pressed on partially-opened substrate
部分开口基底上弹性/粘弹性双层薄膜变形的半解析解
Nucleation-Controlled Phase Selection in Rapid Solidification from Undercooled Melt of DyMnO<sub>3</sub>
DyMnO<sub>3</sub>过冷熔体快速凝固过程中的形核控制相选择
  • DOI：
    10.2320/matertrans.mt-m2021047
  • 发表时间：
    2021
  • 期刊：
    MATERIALS TRANSACTIONS
  • 影响因子：
    1.2
  • 作者：
    Hayasaka You;Kuribayashi Kazuhiko;Shiratori Suguru;Ozawa Shumpei
  • 通讯作者：
    Ozawa Shumpei

Shiratori Suguru的其他文献

{{ item.title }}
{{ item.translation_title }}
  • DOI：
    {{ item.doi }}
  • 发表时间：
    {{ item.publish_year }}
  • 期刊：
    {{ item.journal_name }}
  • 影响因子：
    {{ item.factor }}
  • 作者：
    {{ item.authors }}
  • 通讯作者：
    {{ item.author }}
立即体验

{{ truncateString('Shiratori Suguru', 18)}}的其他基金

Prediction of thickness undulations in coating of liquid films by means of physics-informed machine learning
通过物理信息机器学习预测液膜涂层的厚度波动
  • 批准号：
    19K04175
  • 财政年份：
    2019
  • 资助金额：
    $ 1.91万
  • 项目类别：
    Grant-in-Aid for Scientific Research (C)

相似海外基金

圧縮性粘弾性流体方程式の時空間非一様流れの安定性解析
可压缩粘弹性流体方程时空非均匀流动稳定性分析
  • 批准号：
    23KJ1408
  • 财政年份：
    2023
  • 资助金额：
    $ 1.91万
  • 项目类别：
    Grant-in-Aid for JSPS Fellows
ニュートン・非ニュートン流体回転平面クエット流れの安定性・乱流構造の解明
牛顿和非牛顿流体旋转平面库埃特流的稳定性和湍流结构的阐明
  • 批准号：
    17J04115
  • 财政年份：
    2017
  • 资助金额：
    $ 1.91万
  • 项目类别：
    Grant-in-Aid for JSPS Fellows
非軸対称流れの安定性とはく離限界
非轴对称流动的稳定性和分离极限
  • 批准号：
    03650141
  • 财政年份：
    1991
  • 资助金额：
    $ 1.91万
  • 项目类别：
    Grant-in-Aid for General Scientific Research (C)
Stability of Flow between Finite Eccentric Cylinders in Rotation
旋转中有限偏心圆柱间的流动稳定性
  • 批准号：
    8920956
  • 财政年份：
    1990
  • 资助金额：
    $ 1.91万
  • 项目类别：
    Continuing Grant
PRC Supplement: Stability of Flow Between Rotating EccentricCylinders
PRC补充：旋转偏心缸之间的流动稳定性
  • 批准号：
    8619048
  • 财政年份：
    1987
  • 资助金额：
    $ 1.91万
  • 项目类别：
    Continuing Grant
強い非平行性を持つ流れの安定性と遷移
强非并行性流的稳定性和过渡
  • 批准号：
    60740195
  • 财政年份：
    1985
  • 资助金额：
    $ 1.91万
  • 项目类别：
    Grant-in-Aid for Encouragement of Young Scientists (A)
流体力学, 特に流れの安定性の数学的研究
流体力学，特别是流动稳定性的数学研究
  • 批准号：
    57740075
  • 财政年份：
    1982
  • 资助金额：
    $ 1.91万
  • 项目类别：
    Grant-in-Aid for Encouragement of Young Scientists (A)
Hydrodynamic Stability of Flow in Concentric Annuli
同心环内流动的水动力稳定性
  • 批准号：
    7304230
  • 财政年份：
    1974
  • 资助金额：
    $ 1.91万
  • 项目类别：
    Standard Grant
沸騰によって生じる気液二相流を含むループの流れの安定性に関する研究
沸腾引起的气液两相流回路流动稳定性研究
  • 批准号：
    X00210----775104
  • 财政年份：
    1972
  • 资助金额：
    $ 1.91万
  • 项目类别：
    Grant-in-Aid for Encouragement of Young Scientists (A)
Research Initiation-Hydrodynamic Stability of Flow in a Parallel-Plate Channel with Non-Uniform Inlet Velocity Profile
研究启动-入口速度剖面不均匀的平行板通道流动的水动力稳定性
  • 批准号：
    6931453
  • 财政年份：
    1969
  • 资助金额：
    $ 1.91万
  • 项目类别：
{{ showInfoDetail.title }}

作者：{{ showInfoDetail.author }}

知道了