Modeling and suppression of the striation formation arising during spincoating of photoresist films
Modeling and suppression of the striation formation arising during spincoating of photoresist films
光致抗蚀剂薄膜旋涂过程中出现的条纹形成的建模和抑制
批准号：
17H07158
负责人：
Shiratori Suguru
金额：
$1.91万
依托单位：
依托单位国家：
日本
项目类别：
Grant-in-Aid for Research Activity Start-up
财政年份：
2017
资助国家：
日本
项目状态：
已结题
起止时间：
2017-08-25 至 2019-03-31
中文摘要
翻译
点击翻译按钮获取中文摘要
英文摘要
期刊论文(5)
专著(0)
科研奖励(0)
会议论文
登录
查看更多内容
薄液膜の塗布時に発生する放射状スジムラの形成機構
液膜涂覆过程中径向条纹的形成机制
液膜涂覆过程中径向条纹的形成机制
DOI：
--
发表时间：
2017
期刊：
影响因子：
--
作者：
[林和眞, 塩地彩加, 白鳥 英，永野 秀明，島野 健仁郎]
通讯作者：
白鳥 英，永野 秀明，島野 健仁郎
回転基板上の液膜流れにおけるマランゴニ数の過渡変化
旋转基底上液膜流中马兰戈尼数的瞬态变化
旋转基底上液膜流中马兰戈尼数的瞬态变化
DOI：
--
发表时间：
2018
期刊：
影响因子：
--
作者：
[Suguru Shiratori, Hideaki Nagano and Kenjiro Shimano, 佐野竜平, 白鳥 英，永野 秀明，島野 健仁郎]
通讯作者：
白鳥 英，永野 秀明，島野 健仁郎
遠心力場での液膜流れに関する線形安定性解析
离心力场中液膜流动的线性稳定性分析
离心力场中液膜流动的线性稳定性分析
DOI：
--
发表时间：
2017
期刊：
ながれ
影响因子：
--
作者：
[榎波晨悟, 斎藤健太, 阿部圭佐, 塩本公平, Kohei Shiomoto, 舘葉月, Hazuki Tate, 佐野竜平, Hwajin lim, Hazuki Tate, 白鳥 英，島野 健仁郎，永野 秀明]
通讯作者：
白鳥 英，島野 健仁郎，永野 秀明
DOI：
--
发表时间：
2018
期刊：
影响因子：
--
作者：
[Suguru Shiratori, Hideaki Nagano and Kenjiro Shimano]
通讯作者：
Hideaki Nagano and Kenjiro Shimano
Prediction of thickness undulations in coating of liquid films by means of physics-informed machine learning
-
批准号：19K04175
-
项目类别：Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
-
资助金额：$2.83万
-
财政年份：2019
-
负责人：Shiratori Suguru
-
依托单位：
海外基金