Prediction of thickness undulations in coating of liquid films by means of physics-informed machine learning
Prediction of thickness undulations in coating of liquid films by means of physics-informed machine learning
通过物理信息机器学习预测液膜涂层的厚度波动
批准号：
19K04175
负责人：
Shiratori Suguru
金额：
$2.83万
依托单位：
依托单位国家：
日本
项目类别：
Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
财政年份：
2019
资助国家：
日本
项目状态：
已结题
起止时间：
2019-04-01 至 2023-03-31
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Modeling of liquid film flow during spin-coating; Marangoni-Benard instability in parallel basic flow
旋涂过程中液膜流动的建模；
旋涂过程中液膜流动的建模；
DOI：
--
发表时间：
2021
期刊：
影响因子：
--
作者：
[Kohei Ono, Suguru Shiratori, Kenjiro Shimano, Hideaki Nagano]
通讯作者：
Hideaki Nagano
Spatio-temporal thickness variation and transient Marangoni number in striations during spin coating
旋涂过程中条纹中的时空厚度变化和瞬态马兰戈尼数
旋涂过程中条纹中的时空厚度变化和瞬态马兰戈尼数
DOI：
10.1016/j.ijheatmasstransfer.2020.119678
发表时间：
2020
期刊：
International Journal of Heat and Mass Transfer
影响因子：
5.2
作者：
[Shiratori Suguru, Kato Daiki, Sugasawa Kyosuke, Nagano Hideaki, Shimano Kenjiro]
通讯作者：
Shimano Kenjiro
平行流中のMarangoni-Benard不安定性：スピンコート中の液膜内流れのモデリング
平行流中的马兰戈尼-贝纳德不稳定性：旋涂过程中液膜流动的建模
平行流中的马兰戈尼-贝纳德不稳定性：旋涂过程中液膜流动的建模
DOI：
--
发表时间：
2020
期刊：
影响因子：
--
作者：
[野 航平, 白鳥 英, 永野 秀明, 島野 健仁郎]
通讯作者：
島野 健仁郎
液膜のスピンコートにおける放射状スジムラの形成過程：膜厚分布の時系列変化
液膜旋涂中径向条纹的形成过程：膜厚分布的时间序列变化
液膜旋涂中径向条纹的形成过程：膜厚分布的时间序列变化
DOI：
--
发表时间：
2019
期刊：
影响因子：
--
作者：
[白鳥 英, 加藤 大輝, 島野 健仁郎, 永野 秀明]
通讯作者：
永野 秀明
DOI：
10.1002/fld.5093
发表时间：
2021-09
期刊：
International Journal for Numerical Methods in Fluids
影响因子：
1.8
作者：
[Y. Nakamura;Suguru Shiratori;R. Takagi;Michihiro Sutoh;I. Sugihara;H. Nagano;K. Shimano]
通讯作者：
Y. Nakamura;Suguru Shiratori;R. Takagi;Michihiro Sutoh;I. Sugihara;H. Nagano;K. Shimano
共 15 条
Modeling and suppression of the striation formation arising during spincoating of photoresist films
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批准号：17H07158
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项目类别：Grant-in-Aid for Research Activity Start-up
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资助金额：$1.91万
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财政年份：2017
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负责人：Shiratori Suguru
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依托单位：