Simultaneous correction of spherical and chromatic aberrations by dynamic hollow-cone illumination

通过动态空心锥照明同时校正球差和色差

• 批准号: 20246015
• 负责人: TAKAI Yoshizo
• 金额: $ 14.06万
• 依托单位: Osaka University
• 依托单位国家: 日本
• 项目类别: Grant-in-Aid for Scientific Research (A)
• 财政年份: 2008
• 资助国家: 日本
• 起止时间: 2008 至 2010
• 项目状态: 已结题
• 来源: https://kaken.nii.ac.jp/en/grant/KAKENHI-PROJECT-20246015/
• 关键词: 高分解能電子顕微鏡; 動的ホローコーン照明; 球面収差補正; 色収差補正; 色消し結像条件; 波動場再構成; 位相・振幅分離再生; 球面収差; 色収差; コマ収差; 3次元フーリエフィルタリング法; 無収差結像

A novel wave field restoration method under dynamic hollow-cone illumination is demonstrated using a series of 64 azimuthally rotated images in transmission electron microscopy(TEM). The restoration of the exit wave field was performed by utilizing spherical and chromatic aberration-free Fourier components. The images obtained by inverse Fourier transform of the integrated Fourier spectrum for the azimuthally rotated images clearly showed successful separation of real and imaginary components of the exit wave and resolution enhancement beyond the information limit under axial illumination. Another way to achieve higher spatial resolution was also proposed using the three-dimensional Fourier filtering method applied to tilted illumination. In the approach, the degradation of image contrast caused by chromatic aberration was reduced and the image distortion caused by spherical aberration, coma aberration and three-fold astigmatism was corrected, resulting in the achievement of 1. 4 times higher resolution beyond the information limit under axial illumination.

利用透射电子显微镜（TEM）的64幅方位旋转图像，提出了一种新的动态空心锥照明下的波场恢复方法。通过利用球面和色差无傅立叶分量进行出射波场的恢复。通过对方位角旋转图像的积分傅立叶谱进行逆傅立叶变换获得的图像清楚地示出了出射波的真实的和虚分量的成功分离以及在轴向照明下超过信息极限的分辨率增强。另一种方法，以实现更高的空间分辨率也提出了使用三维傅立叶滤波方法应用于倾斜照明。该方法减小了色差引起的图像对比度下降，校正了球差、彗差和三倍像散引起的图像畸变，实现了1.在轴向照明下，分辨率比信息极限高4倍。

项目成果

Development of Computer Assisted Imaging System for TEM with Direct Electron Detection Type CCD Camera

直接电子探测型CCD相机TEM计算机辅助成像系统的研制

• 发表时间: 2009
• 期刊: 7th International Symposium on Atomic Level Characterizations for New Materials and Devices' 09(ALC' 09)
• 作者: H. Kizawa;W. Togashi;M. Hayashida;Y. Kimura and Y. Takai
• 通讯作者: Y. Kimura and Y. Takai

グラファイト生成過程の高温その場TEM観察

石墨形成过程的高温原位TEM观察

• 发表时间: 2010
• 作者: 八尋孝典;高井義造
• 通讯作者: 高井義造

波面再構成法を用いたコバルト触媒微粒子のグラファイト生成海面観察

利用波前重建法观察钴催化剂细颗粒的石墨形成海面

• 发表时间: 2010
• 作者: 八尋孝典;高井義造
• 通讯作者: 高井義造

遷移金属酸化物内包カーホ"ンナノチューフ"及びその製造方法

含过渡金属氧化物的碳纳米管及其制备方法

• 发表时间: 2010

動的ホローコーン照明を用いた無収差結像

使用动态空心锥照明进行无像差成像

• 发表时间: 2008
• 作者: 高井義造;吉森宏雅;北出昇平;木村吉秀
• 通讯作者: 木村吉秀