Preparation of Oxide Mesocrystal Films and Their Application to Transparent Conducting Films

氧化物介晶薄膜的制备及其在透明导电薄膜中的应用

• 批准号: 24860031
• 负责人: WAGATA Hajime
• 金额: $ 1.91万
• 依托单位: Shinshu University
• 依托单位国家: 日本
• 项目类别: Grant-in-Aid for Research Activity Start-up
• 财政年份: 2012
• 资助国家: 日本
• 起止时间: 2012-08-31 至 2014-03-31
• 项目状态: 已结题
• 来源: https://kaken.nii.ac.jp/en/grant/KAKENHI-PROJECT-24860031/
• 关键词: 酸化亜鉛; 水溶液法; 透明導電膜; スピンスプレー法; 溶液法; スピンスプレー; メソクリスタル; イオン液体

In this research, we aim low-temperature fabrication of metal oxide crystal films for substitution of tin-doped indium oxide by a new film processing technique which can achieve low environmental load, high deposition rate, and cost effectiveness. ZnO films with visible-light transparency over 70 percents and electrical resistivity about 5X10-3 ohm cm were successfully fabricated by spin-spray method with controlling the flow rate of solution and rotation rate of table. When water-soluble polymer was used as an additive, the crystal shape was changed by different manner with trisodium citrate. The performance of ZnO films prepared by using water-soluble polymer was not improved compared with those prepared with trisodium citrate. The results indicated that the adsorbed organics and film structure strongly affected electrical properties.

在这项研究中，我们的目标是通过一种新的薄膜加工技术来低温制造金属氧化物晶体薄膜，以替代锡掺杂的氧化铟，该技术可以实现低环境负荷、高沉积速率和成本效益。通过控制溶液流量和工作台转速，采用旋转喷雾法成功制备了可见光透明度超过70%、电阻率约为5X10-3 ohm cm的ZnO薄膜。当使用水溶性聚合物作为添加剂时，柠檬酸三钠以不同的方式改变晶体形状。与柠檬酸三钠制备的ZnO薄膜相比，使用水溶性聚合物制备的ZnO薄膜的性能没有提高。结果表明，吸附的有机物和薄膜结构强烈影响电性能。

项目成果

Fabrication of transparent zinc oxide crystal layers by spin-spray method

旋喷法制备透明氧化锌晶体层

• 发表时间: 2013
• 作者: Naoya Harata;Hajime Wagata;Nobuyuki Zettsu;Shuji Oishi;Katsuya Teshima
• 通讯作者: Katsuya Teshima

低環境負荷溶液プロセスによる透明導電性酸化亜鉛膜の作製

采用低环境影响溶液工艺制备透明导电氧化锌薄膜

• 发表时间: 2013
• 期刊: ケミカルエンジニヤリング
• 作者: 我田元,是津信行,手嶋勝弥,大石修治

Effect of Illuminated Light Wavelength on Electric Resistance of Zinc Oxide Films Prepared by Spin-Spray Method

照射光波长对旋转喷雾法制备氧化锌薄膜电阻的影响

• 发表时间: 2012
• 期刊: J. Flux Growth
• 作者: H. Wagata;K. Katsumata;N. Ohashi;K. Okada;N. Matsushita;S. Oishi;K. Teshima
• 通讯作者: K. Teshima

水溶液法による透明導電性酸化亜鉛膜の創製

水溶液法制备透明导电氧化锌薄膜

• 作者: Hajime Wagata;Nobuyuki Zettsu;Shuji Oishi;Katsuya Teshima;我田元，是津信行，大石修治，手嶋勝弥
• 通讯作者: 我田元，是津信行，大石修治，手嶋勝弥

スピンスプレー形成された酸化亜鉛結晶層の光触媒活性および表面化学状態の解析

旋喷氧化锌晶层光催化活性及表面化学状态分析

• 发表时间: 2013
• 作者: 我田元,大石修治,手嶋勝弥