次世代材料のための超音波顕微鏡の超高精度化に関する基礎的研究

下一代材料超高精度超声显微技术基础研究

• 批准号: 14350213
• 负责人: 西野 秀郎
• 金额: $ 9.09万
• 依托单位: Tohoku University
• 依托单位国家: 日本
• 项目类别: Grant-in-Aid for Scientific Research (B)
• 财政年份: 2002
• 资助国家: 日本
• 起止时间: 2002 至 2004
• 项目状态: 已结题
• 来源: https://kaken.nii.ac.jp/en/grant/KAKENHI-PROJECT-14350213/
• 关键词: 超音波マイクロスペクトロスコピー; LFB超音波顕微鏡; V(z)曲線解析法; 漏洩弾性表面波; 音場シミュレーション; 非線形音響; ガイド波

超音波顕微鏡で用いている集束超音波デバイスの詳細な音場検討のために、前年度に作製した線形および非線形のシミュレーションプルグラムを用いて、超音波顕微鏡レベルの高周波域の計算を行った。超音波顕微鏡では、多メディアでの伝搬をシミュレートする必要があるが、数100MHz以上の計算では、従来の指数積分関数を用いた方法に限界があることを定量的に示すことが出来た。そこで、指数関数積分の被積分関数を2次の微小項まで考慮する計算方法を考案した。以上の補正方法は、数10MHz付近までの計算では不要であることを示した。同様に、線形域での音場計算から、周波数による音場の変化と、得られるV(z)曲線との相関関係を示すことが出来た。前年度の予定で示したように、本年度は、物理的境界のある材料での、超音波顕微鏡の超高精度計測を目指した波動伝搬問題の基礎研究を行った。本研究代表者は、ラム波から円管を伝搬する超音波の新しい定義を行い、論文とした実績を有しているが、それを土台として、円管を伝搬する超音波のモード別の検出方法などを、理論実験の両面から提唱した。これは、非破壊検査協会誌の論文として掲載予定である。本研究に付随して、ラム波から円管を伝搬する超音波に関する、解説記事の執筆も行った。超音波顕微鏡で用いる、集束超音波デバイス作製のために、前年度までのECRスパッター法に加え、RFスパッター法による作製の環境を整え、デバイス間格差の検討を行える環境の整備を行った。

In the previous year, the sound field was not shaped. The previous year, the sound field was not shaped. The previous year, it was used to calculate the high-cycle wave domain. The ultrasonic waves are micro-scale, multi-channel, multi-channel, micro-wave, multi-channel, micro-wave, multi-ultrasonic, multi-ultrasonic, ultrasonic, ultrasound, ultrasound, The score of the index number is actively divided into the number of "small items" and the calculation method of "examination case". The above "positive method", the number of 10MHz to pay close to the calculation, do not tell me how to show. The calculation of the sound field in the same and linear range, the number of cycles in the sound field, and the frequency of the V (z) curve show the difference between each other. In the previous year, it is scheduled to show that the basic research on wave motion problems will be carried out in the field of physics, materials, and ultra-high precision engineering. In this study, the representative of the study, the new definition of ultrasound, the definition of ultrasound and theory. This is not true. The text of the journal is intended for you. In this study, pay-as-you-go, do-it-go-go-go. The ultrasonic microphone is used as an instrument, the cluster ultrasonic device is used as the instrument, the previous year is used as the ECR method, and the RF method is used to conduct environmental rectification.

项目成果

林高弘, 池田隆, 西野秀郎: "ガイド波非軸対象モードの抽出"非破壊検査. Vol153,4(掲載予定). (2004)

Takahiro Hayashi、Takashi Ikeda、Hideo Nishino：“导波非轴对称模式的提取”，第 153 卷，4（待出版）。