界面反応動力学の解明,モデリングと制御
界面反応動力学の解明,モデリングと制御
批准号:
13450071
负责人:
松本 洋一郎
金额:
$8.58万
依托单位:
依托单位国家:
日本
项目类别:
Grant-in-Aid for Scientific Research (B)
财政年份:
2001
资助国家:
日本
项目状态:
已结题
起止时间:
2001 至 --
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本研究では,申請者らがすでに開発した分子ビーム散乱実験装置系及び量子分子動力学シミュレーションを反応が考慮できるように改良する事により,界面における詳細反応機構の解明,モデリング及び制御を行うことを目的とする.まず,超高真空下で行われる分子ビーム散乱実験において,反応した分子を計測可能なように既存の空間的散乱計測装置の質量分析計を更新し,計測質量範囲が大きくかつ高分解能の高性能四重極質量分析計を設置した.高機能分子ビームの生成は,飛行時間法により確認した.検出器の更新により以前よりも感度良く計測でき,分子ビームが非常に弱い条件においても気体分子の捕捉が可能となった.また,単原子分子の散乱分布を計測も行い,システムとしての動作を確認した.数値計算に関しては,気体分子と固体表面との干渉による反応/生成気体分子の速度分布,散乱角度分布及び流束強度分布及び生成気体分子の分布を,反応を考慮した量子分子動力学シミュレーションにより予測する.まずは,反応を考慮しない単原子分子気体の古典的分子動力学法による解析を行った.そして,行った実験に対して解析を行ったところ,結果は良い一致を示し,単原子分子気体においては鏡面反射方向の散乱が支配的となるが,表面の性質によって分布形状及び散乱方向が影響を受けることが示された.また,量子分子動力学法の手法を確立するために,古典的分子動力学法やその結果を量子化する手法などと比較検討を行い,非常に有効であるものの,定量的な信頼性は量子力学計算による必要があることを明らかにした.
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Y.Sakiyama, S.Takagi, Y.Matsumoto: "Full Simulation of Silicon Chemical Vapor Deposition Process"Rarefied Gas Dynamics 22nd International Symposium. 206-213 (2001)
Y.Sakiyama、S.Takagi、Y.Matsumoto:“硅化学气相沉积过程的完全模拟”稀薄气体动力学第22届国际研讨会。
DOI:
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发表时间:
期刊:
影响因子:
--
作者:
[]
通讯作者:
Y.Matsumoto, N.Tsuboi, T.Tokumasu, N.Yamanishi: "Multi-scale analysis of non-equilibrium hypersonic rarefied gas flows"Computational Fluid Dynamics JOURNAL. 9・1. 459-470 (2001)
Y.Matsumoto、N.Tsuboi、T.Tokumasu、N.Yamanishi:“非平衡高超音速稀薄气流的多尺度分析”《计算流体动力学杂志》9・1(2001)。
DOI:
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发表时间:
期刊:
影响因子:
--
作者:
[]
通讯作者:
崎山幸紀, 高木 周, 松本洋一郎: "DSMC法による化学反応計算の拡張とLPCVDプロセスへの応用"日本機械学会論文集(B編). 68・667(掲載予定). (2002)
Yukinori Sakiyama、Shu Takagi、Yoichiro Matsumoto:“使用 DSMC 方法的化学反应计算及其在 LPCVD 工艺中的应用”,日本机械工程学会会刊(B 版)(2002 年出版)。
DOI:
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发表时间:
期刊:
影响因子:
--
作者:
[]
通讯作者:
T.Kimura, S.Maruyama: "A Molecular Dynamics Simulation of Heterogeneous Nucleation of a Liquid Droplet on Solid Surface"Microscale Thermophysical Engineering. 6・1. 3-13 (2002)
T.Kimura、S.Maruyama:“固体表面液滴异质成核的分子动力学模拟”微型热物理工程 6・1(2002 年)。
DOI:
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发表时间:
期刊:
影响因子:
--
作者:
[]
通讯作者:
S.Maruyama: "FT-ICR Reaction Experiments and Molecular Dynamics Simulations of Precursor Clusters for SWNTs"Perspectives of Fullerene Nanotechnology. 131-142 (2002)
S.Maruyama:“单壁碳纳米管前体簇的 FT-ICR 反应实验和分子动力学模拟”富勒烯纳米技术的观点。
DOI:
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发表时间:
期刊:
影响因子:
--
作者:
[]
通讯作者:
管内流におけるマイクロバブルの挙動
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批准号:06F06379
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项目类别:Grant-in-Aid for JSPS Fellows
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资助金额:$1.47万
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财政年份:2006
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负责人:松本 洋一郎
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依托单位:
超音波造影剤気泡におけるシェルが気泡振動に及ぼす影響と臨床応用における役割の解析
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批准号:03F03221
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项目类别:Grant-in-Aid for JSPS Fellows
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资助金额:$0.77万
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财政年份:2003
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负责人:松本 洋一郎
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依托单位:
超音波造影剤気泡におけるシェルが気泡振動に及ぼす影響と臨床応用における役割の解析
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批准号:03F00221
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项目类别:Grant-in-Aid for JSPS Fellows
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资助金额:$0.51万
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财政年份:2003
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负责人:松本 洋一郎
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依托单位:
気泡流の微細構造,気泡力学,キャビステーション及び気泡流乱流に関する研究
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批准号:02F02783
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项目类别:Grant-in-Aid for JSPS Fellows
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资助金额:$0.45万
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财政年份:2002
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负责人:松本 洋一郎
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依托单位:
気泡流の微細構造,気泡力学,キャビテーション及び気泡乱流に関する研究
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批准号:02F00783
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项目类别:Grant-in-Aid for JSPS Fellows
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资助金额:$1.09万
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财政年份:2002
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负责人:松本 洋一郎
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依托单位:
学術創成のための知識の構造化とネットワーク型知識基盤の構築
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批准号:13GS0019
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项目类别:Grant-in-Aid for Creative Scientific Research
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资助金额:$257.92万
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财政年份:2001
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负责人:松本 洋一郎
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依托单位:
知識構造化手法に基づく半導体製造プロセスフルシミュレータの開発
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批准号:13555044
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项目类别:Grant-in-Aid for Scientific Research (B)
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资助金额:$6.08万
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财政年份:2001
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负责人:松本 洋一郎
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依托单位:
混相乱流のモデル
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批准号:05240106
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项目类别:Grant-in-Aid for Scientific Research on Priority Areas
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资助金额:$41.54万
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财政年份:1995
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负责人:松本 洋一郎
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依托单位:
成長・崩壊する気泡内の蒸気及び非凝縮性ガスの挙動に関する研究
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批准号:58550114
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项目类别:Grant-in-Aid for General Scientific Research (C)
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资助金额:$1.02万
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财政年份:1983
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负责人:松本 洋一郎
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依托单位:
熱的要因を考慮したキャビテーションに関する実験的研究
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批准号:X00210----375082
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项目类别:Grant-in-Aid for Encouragement of Young Scientists (A)
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资助金额:$0.29万
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财政年份:1978
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负责人:松本 洋一郎
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依托单位:
海外基金