高純度のシリコン28の結晶の製造とその熱的性質の研究
高纯硅28晶体的制备及其热性能研究
基本信息
- 批准号:04205087
- 负责人:
- 金额:$ 0.9万
- 依托单位:
- 依托单位国家:日本
- 项目类别:Grant-in-Aid for Scientific Research on Priority Areas
- 财政年份:1992
- 资助国家:日本
- 起止时间:1992 至 无数据
- 项目状态:已结题
- 来源:
- 关键词:
项目摘要
天然のシリコンは92.23%の ^<28>Si,4.67%の ^<29>Siおよび3.10%の ^<30>Siから構成されている。われわれは炭酸ガスレーザーによるSi_2F_6の赤外多光子分解を利用して、シリコンの同位体を高濃縮することを研究した。Si_2F_6の赤外多光子分解の生成物はSiF_4および白色の粉体(Si:F 1:2の組成)であり適切な照射条件のもとで ^<29>Siおよび ^<30>Siは生成物のSiF_4および白色の粉体中に濃縮され、一方 ^<28>Siは未反応のSi_2F_6中に濃縮される。すでに各同位体の濃縮度及び収量と,レーザーの照射波数,レーザーのフルエンス,Si_2F_6の圧力などとの関係を群細に調べ例えばレーザーの照射波数951.2cm^<-1>,レーザーのフルエンス0.25Jcm^<-2>,Si_2F_6の圧力2Torrの条件で生成するSiF_4中に ^<30>Siが50%近くまで濃縮されることを確認した。本研究では ^<28>Siの高濃縮にも注意を払い、レーザーの照射波数954.6cm^<-1>で未反応のSi_2F_6中に ^<28>Siが99.7%にまで高濃縮されることも確認した。続いて高出力の炭酸ガスレーザーと流通系照射装置を組み合わせ、高純度の ^<28>Siを1時間当り0.042molの速度で分離できることを実証した。さらにSi_2F_6を化学的方法で環元してSi_2H_6に変換し、このSi_2H_6の熱分解で、 ^<28>Siが高濃縮された固体シリコンを得る方法を確立している。今後の問題は、さらに分離の規模を拡大し、単結晶を製造できるほど固体シリコンを分離することである。
The natural temperature is 92.23% & lt;28>Si,4.67%
项目成果
期刊论文数量(14)
专著数量(0)
科研奖励数量(0)
会议论文数量(0)
专利数量(0)
城尾 元浩: "Coordination of NH_3 and C_2H_4 onto W(CO)_5 in the Gas Phase" Chem.Lett.2205-2208 (1992)
Motohiro Joo:“气相中 NH_3 和 C_2H_4 在 W(CO)_5 上的配位”Chem.Lett.2205-2208 (1992)
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- 影响因子:0
- 作者:
- 通讯作者:
森 朋生: "Reactions of Highly Excited Oxygen Atoms O(2p^3 3s, ^5S)with Simple Gas Molecules" J.Chem.Phys.97. 9094-9098 (1992)
Tomoo Mori:“高激发氧原子 O(2p^3 3s, ^5S) 与简单气体分子的反应”J.Chem.Phys.97 (1992)。
- DOI:
- 发表时间:
- 期刊:
- 影响因子:0
- 作者:
- 通讯作者:
飯塚 泰雄: "Catalytic Behavior of Silicon Carbide for Hydrogen Activation" Cat.Lett.14. 75-87 (1992)
Yasuo Iizuka:“碳化硅对氢活化的催化行为”Cat.Lett.14 (1992)。
- DOI:
- 发表时间:
- 期刊:
- 影响因子:0
- 作者:
- 通讯作者:
服部 正人: " ^<13>C-Selective Infrared Multiple-Photon Decomposition Study of CBrClF_2" Appl.Phys.B55. 413-418 (1992)
Masato Hattori:“^<13>CBrClF_2 的 C 选择性红外多光子分解研究”Appl.Phys.B55 (1992)。
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- 期刊:
- 影响因子:0
- 作者:
- 通讯作者:
森 朋生: "Formation of Highly Excited Oxygen AtomsO(2p^33p, ^5P)and O(2p^33s, ^5S)in Electron Irradiation of Mixtures of Rare Gases and O_2" Appl.Phys.96. 8258-8266 (1992)
Tomoo Mori:“稀有气体和 O_2 混合物的电子辐照中高激发氧原子 O(2p^33p, ^5P) 和 O(2p^33s, ^5S) 的形成”Appl.Phys.96 (1992) )
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