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周波安定化参照共振器用光学素子のレーザ損傷の研究

稳频参考谐振器光学元件激光损伤研究

基本信息

批准号：
04234207
负责人：
吉田國雄
金额：
$ 1.09万
依托单位：
Osaka Institute of Technology
依托单位国家：
日本
项目类别：
Grant-in-Aid for Scientific Research on Priority Areas
财政年份：
1992
资助国家：
日本
起止时间：
1992 至无数据
项目状态：
已结题

项目摘要

干渉計用光源としての周波数安定化レーザーでは、参照共振器の周波数幅が10KH_Zまたはそれ以下で、高フィネス(10000以上)共振器が必要になる。また、高フィネス共振器では、共振器内部の電界強度が極めて高くなるため、ミラーのレーザーによる損傷がレーザー出力の限界を与えるようになる。このように、高フィネスでしかも高い電界強度を考慮したミラーを製作するには、ミラー基板面の超平滑加工,高度な洗浄,パッキング密度が1となるような蒸着法が必要となる。本研究では、ミラー基板を光学研磨した後の洗浄法、あるいは蒸着までの基板の保管法によって発生する基板ガラスのヤケの防止法について調べた。また、発生したヤケの程度が軽い場合は、イオンビームエッチング法によって基板表面の粗さを変化させる事なくヤケを徐去できることを見つけた。先づ、ヤケの発生実験では、りん酸塩レーザーガラスを用い、ガラス表面上を指紋,クリーニング溶剤による拭き残り,クリーンな部分の3ヶ所に分割した。このサンプルガラス表面に各種の保護膜をつけ、ヤケの発生実験を行った。その結果、市販のOpti-Clean Polymerが保護膜として最も優れているのを見つけた。また、ガラス表面が、僅かにヤケている場合は、イオンビームエッチングによってガラスの表面粗さに殆んど影響を与える事なくヤケを除去できた。

Use the light source to stabilize the wavenumber, refer to the resonator, 10KH_Z the number of cycles below, and the height of the resonator (above 10000) that is necessary. The electrical industry strength of the resonator is very high, the internal strength of the resonator is very strong, and the output limit is very high. High temperature, high temperature In this study, after the optical grinding of the substrate, the cleaning method, the steaming method, the storage method and the prevention method were used in this study. The surface of the substrate is coarsened, the surface of the substrate is thickened, the surface of the substrate is thickened, and the surface of the substrate is thickened. First, make sure that it is not safe to use, that is, to use it, to point to it on the surface, to dissolve it, to wipe the residue, and to make sure that it is partially divided. All kinds of protective films are used in the production of various kinds of protective films on the surface. The results show that the market Opti-Clean Polymer protection membrane is the most expensive. The surface, the surface and the surface.