プラズマ材料プロセスにおける固体表面フリーラジカルの動力学に関する研究
等离子体材料加工中固体表面自由基动力学研究
基本信息
- 批准号:05237228
- 负责人:
- 金额:$ 1.28万
- 依托单位:
- 依托单位国家:日本
- 项目类别:Grant-in-Aid for Scientific Research on Priority Areas
- 财政年份:1993
- 资助国家:日本
- 起止时间:1993 至 无数据
- 项目状态:已结题
- 来源:
- 关键词:
项目摘要
1.申請者らはかねてより、非反応性プラズマ照射によって種々の高分子粉末に生成する表面フリーラジカルの構造、反応性などをそのESRスペクトル測定とシミュレーションによって明らかにしてきた。本研究においては、ポリエチレン(PE)とポリテトラフルオロエチレン(PTFE)のプラズマ照射によるフリーラジカル生成特性の詳細に新たな知見を付け加えるとともに、それらの生成が分子内競争反応によって直接比較できるエチレン-テトラフルオロエチレンの1:1交互共重合体(ETFE)にArプラズマ照射し、生成する表面ラジカル構造をESRスペクトルによって解析した。その結果、プラズマ照射ETFEの室温ESRスペクトルは、beta-Hとbeta-Fの超微細結合定数に大差がないためにPEと類似の六重線を示し、系統的なシュミレーションの結果、主生成ラジカルは主鎖型ラジカルに帰属された。しかし、本ラジカルを空気に曝すとPEと異なり室温でも容易にパーオキシラジカルが観測された。また、ArとO_2プラズマ照射によるエッチング速度比(O_2/Ar)はPE、PTFEのいずれの単一高分子よりも著しく大きくなるなど興味ある共重合体効果の特異性が認められた。2.基本的なIV族元素の炭素活性種(・CH_3、CH_2)間および珪素活性種(SiH_3、:SiH_2)間の基底状態での再結合反応について分子軌道計算によって評価した。その結果、珪素活性種においてはラジカルの軌道再混成による立体構造変化の影響は炭素活性種と比較して微少であることが示された。また、:CH_2間および:SiH_2間の反応においては、それら活性種の多重度の安定性の差異(:CH_2は三重項が、:SiH_2は一重項が安定)を考慮することが重要であることが示された。このように、固体表面での薄膜形成におけるフリーラジカルの構造緩和過程に新たな知見を加えた。
1. The applicant ら は か ね て よ り, non anti 応 プ ラ ズ マ irradiation に よ っ て kind 々 の polymer powder に generated す る surface フ リ ー ラ ジ カ ル の structure, anti 応 な ど を そ の ESR ス ペ ク ト ル determination と シ ミ ュ レ ー シ ョ ン に よ っ て Ming ら か に し て き た. This study に お い て は, ポ リ エ チ レ ン (PE) と ポ リ テ ト ラ フ ル オ ロ エ チ レ ン (PTFE) の プ ラ ズ マ irradiation に よ る フ リ ー ラ ジ カ ル generation features detailed に の new た な knowledge を pay け plus え る と と も に, そ れ ら の generated が intramolecular competition against 応 に よ っ て directly compare で き る エ チ レ ン - テ ト ラ フ ル オ ロ エ チ レ ン の 1:1 interaction, weigh fit (ETFE) に Ar プ ラ ズ し マ exposure, generate す る surface ラ ジ カ ル tectonic を ESR ス ペ ク ト ル に よ っ て parsing し た. そ の results, プ ラ ズ マ irradiation ETFE の at room temperature the ESR ス ペ ク ト ル は, beta - H と beta - F の ultra micro combined with destiny に big difference が な い た め に PE と similar の を し, six heavy line system な シ ュ ミ レ ー シ ョ ン の results, the main ラ ジ カ ル は master lock type ラ ジ カ ル に 帰 genus さ れ た. し か し, this ラ ジ カ ル を empty 気 に exposure す と PE と different な り room-temperature で も easy に パ ー オ キ シ ラ ジ カ ル が 観 measuring さ れ た. ま た, Ar と O_2 プ ラ ズ マ irradiation に よ る エ ッ チ ン グ faster than (O_2 / Ar) は PE, PTFE の い ず れ の 単 a polymer よ り も the し く big き く な る な ど tumblers あ る weigh fit unseen fruit の specificity が recognize め ら れ た. 2. Basic な IV group elements の carbon activity of (CH_3, CH_2) between お よ び stating, active kinds (SiH_3, : SiH_2) between の basal condition で の combining the 応 に つ い て molecular orbital calculation に よ っ て review 価 し た. そ の results, stating, active kinds に お い て は ラ ジ カ ル の orbit and composite に よ る three-dimensional structure - the の と は carbon active effect comparing し て slightly less で あ る こ と が shown さ れ た. ま た, : CH_2 お よ び : between SiH_2 の anti 応 に お い て は, そ れ ら activity of different の more severe の stability の (: CH_2 は triple が, : SiH_2 は a heavy が stability) を consider す る こ と が important で あ る こ と が shown さ れ た. New たな insights into the process of <s:1> ように ように formation of で <s:1> films on solid surfaces, におけるフリ におけるフリ ラジカ ラジカ <s:1> construction softening process に, を plus えた.
项目成果
期刊论文数量(1)
专著数量(0)
科研奖励数量(0)
会议论文数量(0)
专利数量(0)
Akihiro Noguchi: "Molecular Orbital Study on Photoreaction of Peroxy Radicals of Polytetrafluoroethylene" Chem.Pharm.Bull.42. 1-4 (1994)
Akihiro Noguchi:“聚四氟乙烯过氧自由基光反应的分子轨道研究”Chem.Pharm.Bull.42。
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近藤 伸一
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