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プラズマ材料プロセスにおける固体表面フリーラジカルの動力学に関する研究

等离子体材料加工中固体表面自由基动力学研究

基本信息

批准号：
07217218
负责人：
葛谷昌之
金额：
$ 1.09万
依托单位：
Gifu Pharmaceutical University
依托单位国家：
日本
项目类别：
Grant-in-Aid for Scientific Research on Priority Areas
财政年份：
1995
资助国家：
日本
起止时间：
1995 至无数据
项目状态：
已结题

来源：
https://kaken.nii.ac.jp/en/grant/KAKENHI-PROJECT-07217218/
关键词：
表面ラジカル ESR パーオキシラジカル表面改質アクリル樹脂酸化

项目摘要

酸素分子は基底状態が三重項であるのでラジカル反応性に富み、様々な物質の自動酸化を誘発する。酸素分子による酸化反応はパーオキシラジカルの生成とその分解反応がキ-ステップであるので、その理解は重要である。プラズマプロセシングにおいては、フリーラジカルなどの活性種が材料表面に残存するので、それらの材料を大気中に取り出せば、フリーラジカルが速やかに酸素分子と反応して固体表面にパーオキシラジカル(ROO・)が生成する。生成したパーオキシラジカルは一般に、種々の連鎖反応を経て安定な酸素官能基に変換し、表面酸化層を形成する。したがって、プラズマ材料プロセスにおいて、表面酸化層の形成による表面の分子物性変化を理解することは、気相反応の理解とともに重要な課題である。かかる背景より、プラズマ照射アクリル樹脂上の固体パーオキシラジカルをESRスペクトル測定とそのシミュレーションによって解析した。室温において観測されたg-異方性スペクトルのシミュレーション結果は、プラズマ照射アクリル樹脂には複数のラジカルが生成しているので、対応するパーオキシラジカルも複数の成分スペクトルより成り立っていることが示されたが、それらの成分スペクトルはそれぞれのラジカル構造に対応するのでなく、高分子表面での酸素のトラッピングサイトの分子運動の違いに対応していることが示された。

Acid molecules induce the automatic acidification of rich and poor substances by changing their reaction properties to triple terms in the substrate state. Acid molecule acidification reaction is very important for the production and decomposition of acid molecules. The active species are present on the surface of the material, and the active species are present on the surface of the material. The formation of a chain reaction between the general and specific amino acid functional groups and the formation of an acidified surface layer An important topic for understanding the molecular properties of the surface during the formation of the acidified layer is the formation of the surface layer. The background of the film is the analysis of the ESR of the solid on the film. The results of the room temperature test show that the composition of the resin is different from the composition of the resin. The molecular motion of the acid on the surface of the polymer is opposite to that of the acid.