金属原子の薄膜凝縮素過程の分子熱工学的研究

金属原子薄膜凝聚过程的分子热工程研究

• 批准号: 05239208
• 负责人: 井上 剛良
• 金额: $ 1.98万
• 依托单位: Kyushu University
• 依托单位国家: 日本
• 项目类别: Grant-in-Aid for Scientific Research on Priority Areas
• 财政年份: 1993
• 资助国家: 日本
• 起止时间: 1993 至 1995
• 项目状态: 已结题
• 来源: https://kaken.nii.ac.jp/en/grant/KAKENHI-PROJECT-05239208/
• 关键词: 速度選別器; 並進エネルギー; 蒸着速度; 蒸着; 結晶構造; 凝縮係数; 銀

気体分子の固体表面への凝縮(蒸着)現象は薄膜技術として半導体産業,新素材開発,表面処理など現代の最先端工業分野へ応用されている。しかしこの分野の研究においては,よりすぐれた物性の薄膜材料の開発競争が激しいことにより薄膜作成技術の進歩はめざましいが,一方では薄膜形成過程における物理・化学現象の基礎的理解は大きく遅れており,蒸着過程から薄膜結晶構造の形成過程にわたる原子・分子レベルでの早急な解明が渇望されている。このような観点から本研究ではAg原子の並進エネルギーと蒸着速度がAg薄膜結晶構造に及ぼす影響を明らかにすることを目的として以下の研究を行った。1.中性原子の速度を機械的に選別するための分子線)速度選別器を製作した。2.TOF法を用いて分子線の速度分布を測定し,製作した分子線速度選別器の性能を検証した。3.この速度選別器を真空蒸着装置に組み込み,速度選別された金属ビームの真空蒸着実験を行い,このような実験が可能であることを実証するとともに,凝縮係数と薄膜の結晶構造について調べた。速度選別真空蒸着実験果より,以下の結果を得た。1.製作した速度選別器の分解能は0.28程度であり,設計仕様に近い性能を有する。2.Agの(001)NaCl上への凝縮係数に対しては基板温度の影響が大きい。3.基板温度が300℃の場合,凝縮係数は1よりもかなり小さい。4.速度選別蒸着により形成された薄膜は基板温度が低いにもかかわらずかなり良いエピタキシャル膜である。

The condensation (evaporation) phenomenon of the solid surface of the deuterium molecule is the thin film technology of the semiconductor industry, the development of new materials, and the surface treatment of modern cutting-edge industrial fields.しかしこの区の Research においては, よりすぐれたphysical properties のOpen competition for thin film materials The advanced film-making technology of the advanced film-forming technology, the film-forming process of the filmおけるBasic understanding of physical and chemical phenomenaは大きく遅れており, steaming process からThin film formation The formation process of crystal structure is as follows: atoms and molecules.このような観PointからThis study is based on the ではAg atoms and the エネルギーとsteaming speedがAg thin The effect of the film crystal structure and its influence on the film crystal structure has been studied for the following purposes. 1. Production of a speed sorting device for neutral atoms (mechanical speed sorting (molecular line)). 2. The TOF method is used to measure the velocity distribution of molecular lines and to produce and verify the performance of a molecular line velocity sorter. 3. Speed selector, vacuum steaming device, speed selector, metal vacuum steamer, speed selector,このような実験がpossible であることを実证するとともに, the condensation coefficient and the crystal structure of the film について Adjust べた. The following results are obtained by selecting the speed of the vacuum steamed fruit. 1. The speed selector has a decomposition capability of 0.28 degree and is designed to have close performance. 2. The condensation coefficient of Ag(001)NaCl has a large influence on the substrate temperature. 3. When the substrate temperature is less than 300℃, the condensation coefficient is as small as 1. 4. Select the speed to steam the film to form the film and the substrate temperature is low.