正則化を取り入れた電子線タイコグラフィー位相回復法の開発と材料応用
正則化を取り入れた電子線タイコグラフィー位相回復法の開発と材料応用
正则化电子束叠印相位恢复方法的开发及材料应用
批准号：
24K15598
负责人：
三石 和貴
金额：
$2.75万
依托单位国家：
日本
项目类别：
Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
财政年份：
2024
资助国家：
日本
项目状态：
未结题
起止时间：
2024-04-01 至 2027-03-31
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会议论文
電子線タイコグラフィーにおける多重散乱の効果を含めた位相再生法の開発
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批准号：21K04890
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项目类别：Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
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资助金额：$2.41万
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财政年份：2021
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负责人：三石 和貴
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依托单位：
電子線と粒子線の組み合わせによるナノ構造作製と物性評価
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批准号：17710120
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项目类别：Grant-in-Aid for Young Scientists (B)
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资助金额：$2.3万
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财政年份：2005
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负责人：三石 和貴
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依托单位：