酸化物超伝導薄膜の特性制御

氧化物超导薄膜的特性控制

• 批准号: 02226112
• 负责人: 原 宏
• 金额: $ 6.34万
• 依托单位: Chiba Institute of Technology
• 依托单位国家: 日本
• 项目类别: Grant-in-Aid for Scientific Research on Priority Areas
• 财政年份: 1989
• 资助国家: 日本
• 起止时间: 1989 至 1991
• 项目状态: 已结题
• 来源: https://kaken.nii.ac.jp/en/grant/KAKENHI-PROJECT-02226112/
• 关键词: YBCO超伝導膜; 磁化率測定法(薄膜); 超伝導体積比(薄膜)

前年度に続き、対向タ-ゲットスパッタ方式でYBCO系薄膜作成を行った。基板加熱を赤外放射方式から、電熱ヒ-タ-加熱方式に修正した。前者が焦点方式であり、基板面内の一様加熱に疑問があったからである。この変更により、膜の表面平濃度は格段に向上し、粗さは0.1μmレベルに改善され、またas grownでTc〜60Kが得られる(基板温度は700℃、Ar/O_2比は9)。しかし一面では此のヒ-タ-作製は失敗であった。というのは製作者の選定を誤り、故障の連続であったことである。この結果、基板温度制御に系統性が得られず大いに難渋した。しかし、一見スマ-トでクリ-ンと思われる赤外加熱の欠点は克服され、今後の改良点が明らかになった。実施したいことはYBCOのYをPrまたはCeに置換して、相似的な結晶構造で半導体的または絶縁体的特性を実現し、in situでSーSCーS3層膜を実現することである。このために今年はlayer by layer成膜のできる、EB蒸着装置を部分的に計画し、アセンブルを明年度完成する手順とした。一方薄膜帯磁率の測定については、変成比ブリッジを製作し、基板を収容するサンプルコイル(断面内寸法1mm×5mm、軸長12mmの偏平コイル、巻数50タ-ン、L〜1.3μH、r〜0.1Ω)の不平衡を0.01ppm程度まで検出することが出来た。電源周波数は2〜10kHzである。薄膜のコイル内容膜占有率は10^<ー4>より大きいから、薄膜が完全なSーN転移をすれば容易に検出できるし、転移の体積比を0.01%程度まで検出できる結果である。今後は(1)周波数を更に下げること、(2)コイルの機材的寸法の安定度、特に冷却・昇温に関しての寸法変化の可逆性の改善、(3)冷凍器内での測定の信頼度の獲得などに向けて努力したい。

In the previous year, the YBCO thin film was made in the way that the film was made into a line. The substrate is used to modify the infrared radiation mode and the electronic-infrared-plus mode. In the former, the focus mode and the in-plane of the substrate are increased. The surface flatness of the film is higher than that of the film, the surface flatness of the film is up, the surface flatness of the film is improved, and the substrate temperature is 700C, Ar/O_2 ratio 9). On the other hand, I don't know if I have failed. Please tell me that the author has selected an error, a failure link, and a failure link. The results show that the system of substrate temperature control is very important. At the first sight, I would like to think about how to overcome the shortcoming, and make improvements in the future. In this paper, the characteristics of the half-body are studied by using the method of YBCO

项目成果

原 宏編著: "量子電磁気計測" 電子情報通信学会, (1991)

Hiroshi Hara（编辑）：《量子电磁测量》IEICE，（1991）

Ko Hara: "Microbridge Utilizing Step Edge(MUSE)and its Application" Superconductivity Electronics(オ-ム・Prentice Hall). 198-201 (1987)

Ko Hara：“利用阶梯边缘（MUSE）的微桥及其应用”超导电子学（Ohm，Prentice Hall）198-201（1987）。

Ko Hara: "Improvement of the Superconducting Magnetic Levitation System for the Determination of the Magnetic Flux Quantum" IEEE Trans.on Instr.& Meas.38. 225-228 (1989)

Ko Hara：“用于确定磁通量量子的超导磁悬浮系统的改进”IEEE Trans.on Instr。

Ko Hara: "Absolute Measurement of the Magnetic Flux Quantum Using a Superconducting Magnetic Levitation System" Superconductivity Electronics(オ-ム・Prentice Hall). 109-112 (1987)

Ko Hara：“使用超导磁悬浮系统对磁通量量子的绝对测量”超导电子学（Ohm Prentice Hall）109-112（1987）。

Ko Hara: "A Determination of the Magnetic Flux Quantum Using Superconducting Magnetic Levitation System" CPEM '90 DIGEST. 183 (1990)

Ko Hara：“使用超导磁悬浮系统测定磁通量量子”CPEM 90 DIGEST。