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軟X線領域の光学定数と外部光電効果の研究

软X射线区域光学常数与外光电效应研究

基本信息

批准号：
03217206
负责人：
井口裕夫
金额：
$ 0.51万
依托单位：
University of East Asia
依托单位国家：
日本
项目类别：
Grant-in-Aid for Scientific Research on Priority Areas
财政年份：
1991
资助国家：
日本
起止时间：
1991 至无数据
项目状态：
已结题

来源：
https://kaken.nii.ac.jp/en/grant/KAKENHI-PROJECT-03217206/
关键词：
軟X線固体光学定数複素屈折率薄膜光電効果光電子放出

项目摘要

前年度の研究ではバルクの軟X線学材料について光学定数と外部光電効果の研究を行った。本年度は多層膜軟X線反射鏡に見られるような軟X線領域における薄膜材料の重要性を考え,薄膜状態の軟X線光学材料について数値計算法で反射率と外部光電効果の研究を行った。数値計算にはS.V.Pepperの式を用い,シリコン基板上のアルミニウム,金,白金,ロジウム薄膜の反射率と外部光電効果を計算し,相対的光電収率の入射角依存,膜厚依存,偏光効果,光干渉効果を調べた。これらの物質を選んだのは実験との比較を行うためである。研究の結果次の諸点が明らかになった。(1) 100〜1000eVの号X線領域では相対的光電収率に現れる光干渉効果は顕著ではない。この事情は反射率の入射角依存においても同様である。しかし薄膜とバルクの相対的光電収率の差を求めると特にS偏光では干渉縞の可視度が良くなり,鮮明になった干渉パタ-ンから逆に薄膜の膜厚を決定することも容易にできる。(2)P偏光においてはブリュスタ-角における反射率極小のため薄膜とバルクの差を求めても相対的光電収率の光干渉効果は鮮明にならない。(3)光干渉のパタ-ンの最大振幅は膜厚と共に指数的に減少する。(4)干渉縞のピ-ク位置は幾何光学的な計算値と可成り良く一致する。(5)相対的光電収率の入射角依存曲線のピ-クの大きさは膜厚と共に振動しながらバルクの値に収束するが,膜厚150A^^°で即にバルクの値に近い値となる。以上の研究結果について研究会と公開シンポジウムで報告した。

In the past year, the research on soft X-ray materials has been carried out. This year, the importance of thin film materials for multilayer soft X-ray mirrors was examined, and numerical calculation methods for thin film states and soft X-ray optical materials, reflectivity and external photoelectric effects were studied. Calculation of the reflectance and external photoelectric effect of the gold, platinum, and platinum thin films on the substrate, the dependence of the relative photoelectric reflectance on the incident angle, the dependence of the film thickness, the polarization effect, and the optical coherence effect. The material is selected and compared. The results of the study are as follows: (1)100 ~ 1000eV signal X-ray field is opposite to the photoelectric reflection rate, the light interference effect is opposite to the middle. The incident angle of the incident light is dependent on the incident light. The difference between the relative photoelectric reflectance of thin films is easy to determine, and the visibility of thin films is easy to determine. (2)P Polarized light is reflected by a thin film with a very small reflectance and a very bright reflectance. (3)The maximum amplitude of optical interference decreases exponentially with film thickness. (4)The calculation value of geometric optics can be achieved in good agreement. (5)The incident angle dependence curve of the relative photoreflectivity is large, and the film thickness is large. The results of the above research will be published in the report.