高気圧(1気圧以上)中でのフリーラジカルの生成とその機能薄膜形成への応用

高压（大于1个大气压）下自由基的产生及其在功能薄膜形成中的应用

• 批准号: 06228228
• 负责人: 岡本 幸雄
• 金额: $ 1.28万
• 依托单位: Toyo University
• 依托单位国家: 日本
• 项目类别: Grant-in-Aid for Scientific Research on Priority Areas
• 财政年份: 1994
• 资助国家: 日本
• 起止时间: 1994 至 无数据
• 项目状态: 已结题
• 来源: https://kaken.nii.ac.jp/en/grant/KAKENHI-PROJECT-06228228/
• 关键词: フリーラジカル; 高気圧プラズマ; マイクロ波誘導大気圧プラズマ; 酵素ラジカル; 窒素ラジカル; 機能薄膜形成

1気圧の雰囲気の中で、マイクロ波電力(2.45GHz,1kw)を用いて、酸素および窒素プラズマを生成し、そのとき発生するこれらのラジカル(0*777.6nm,N*674.4nm)はじめ励起温度(Texc)や電子密度(ne)のマイクロ波電力(W)などによる空間分布依存性を明らかにした。これらのプラズマの生成には、岡本が研究開発したOkamoto Cavity(Anal.Sci.,7(1991)283)を用い、まず安定に動作する領域を明らかにした。次に、これらラジカルの強度を発光強度から、プラズマのTexcをFeの原子線の発光強度のボルツマンプロットから、さらにneをSahaの式をベースにFeの原子線とイオン線の強度比から得た。マイクロ波電力W=1kwでプラズマ生成のためのガス流量10l/minのとき、Texc=5-6x10^3K,ne=10^<13>-10^<14>cm^3が得られた。このとき、ラジカル(0*777.6nm,N*674.4nmなど)をかなり選択的に制御できることが明らかになった。今後は、これらプラズマ中のラジカルの輸送過程を明らかにすると共に、これらラジカルを用いて、アッシングはじめ機能性薄膜などの創製を検討し、大気圧ラズマの新しい応用を拓く予定である。

1 気 圧 の 雰 囲 気 の で, マ イ ク ロ wave power (2.45 GHz, 1 kw) を い て, acid お よ び smothering element プ ラ ズ マ を generated し, そ の と き 発 raw す る こ れ ら の ラ ジ カ ル (0 * 777.6 nm, N * 674.4 nm) は じ め wound up temperature (Texc) や electron density (ne) の マ イ ク ロ wave power ( W)な による による spatial distribution dependence を Ming ら に に た た. こ れ ら の プ ラ ズ マ の generated に は, Okamoto が research open 発 し た Okamoto Cavity (Anal. Sci., 7 (1991) 283) を い, ま ず settle に action す る field を Ming ら か に し た. に, こ れ ら ラ ジ カ ル の strength を 発 light intensity か ら, プ ラ ズ マ の Texc を Fe の atomic line の 発 light intensity の ボ ル ツ マ ン プ ロ ッ ト か ら, さ ら に ne を Saha の type を ベ ー ス に Fe の atomic line と イ オ ン line の strength than か ら た. マ イ ク ロ wave power W = 1 kw で プ ラ ズ マ generated の た め の ガ ス traffic 10 l/min の と き, Texc = 5-6 x10 ^ 3 k, ne = 10 ^ < 13 > - 10 ^ < > 14 cm ^ 3 が must ら れ た. こ の と き, ラ ジ カ ル (0 * 777.6 nm, N * 674.4 nm な ど) を か な り sentaku に system royal で き る こ と が Ming ら か に な っ た. Future は, こ れ ら プ ラ ズ マ in の ラ ジ カ ル の conveying process を Ming ら か に す る と に, こ れ ら ラ ジ カ ル を with い て, ア ッ シ ン グ は じ め functional thin film な ど の created を beg し 検, big 気 圧 ラ ズ マ の new し い 応 with を billiton く designated で あ る.

项目成果

Yukio Okamoto: "Surface-wave Mode Microwave-induced Plasma at Atmospheric Pressure" Plasma Sources Science & Technology. (予定). (1995)

Yukio Okamoto：“大气压下的表面波模式微波诱导等离子体”等离子体源科学与技术（计划中）。

Yukio Okamoto: "Oxygen and Nitrogen Radical Sources with Microwave-induced Plasma at Atmospheric Pressure" Proc.Symp.on Plasma Science for Materials. 7. 183-187 (1994)

Yukio Okamoto：“大气压下微波诱导等离子体的氧和氮自由基源”Proc.Symp.on 等离子体材料科学。