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過冷却液体からの急速凝固による細線生成の電顕内その場観察

過冷却液体からの急速凝固による細線生成の電顕内その場観察
在电子显微镜中原位观察过冷液体快速凝固导致的细线形成
批准号：
07219209
负责人：
森 博太郎
金额：
$1.28万
依托单位：
Osaka University
依托单位国家：
日本
项目类别：
Grant-in-Aid for Scientific Research on Priority Areas
财政年份：
1995
资助国家：
日本
项目状态：
已结题
起止时间：
1995 至 --
来源：
https://kaken.nii.ac.jp/en/grant/KAKENHI-PROJECT-07219209/
关键词：
過冷却体結晶成長LSI配線透過電子顕微鏡法その場観察

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项目成果

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LSI配線材料は微細化にともないエレクトロ・マイグレーションやストレス・マイグレーションによる断線が問題になっている。これらを改善するための方法の一つに、配線の単結晶化がある。我々は、その中でも特に、溝を形成した絶縁膜上に成膜して連続的に真空熱処理することで溝にのみ単結晶の配線を埋め込む方法について、電子顕微鏡(電顕)内その場観察法によって調べた。本研究ではA1薄膜の固相状態における溝中への埋め込み過程および凝固過程の解析を行った。その結果、以下の知見を得た。(1)成膜されたA1は固相状態で絶縁膜表面を移動して、このような微小断面をもつ溝の中に埋め込まれる。小さな曲率半径に起因した薄膜中に発生した圧力が、A1薄膜の固相状態での溝中への埋め込みに寄与していると考えられる。(2)そこで溶融したA1は、凝固時には大きな過冷却状態(100K以上)にあり、結晶成長速度が凝固核の生成速度に比べて著しく速いために、一ケ所で核生成が起こると同時に溝全体が固化して、単結晶化する。
期刊论文(6)
专著(0)
科研奖励(0)
会议论文
保田英洋: "ナノメートルサイズのアモルファスSbクラスターへのAu原子蒸着の際の合金化過程" 日本金属学会誌. 59. 681-685 (1995)
Hidehiro Yasuda：“纳米级非晶锑簇上金原子气相沉积的合金化过程”，日本金属学会杂志 59. 681-685 (1995)。
DOI： --
发表时间：
期刊：
影响因子： --
作者： []
通讯作者：
H.Mori: "Observation by TEM of spontaneous alloying in nanometre-seized atom clusters in the Au-Al system" J. Microscopy. 180. 33-38 (1995)
H.Mori：“通过 TEM 观察 Au-Al 系统中纳米级原子团中的自发合金化”J. Microscopy。
DOI： --
发表时间：
期刊：
影响因子： --
作者： []
通讯作者：
J.Wada: "In situ transmission electron imicrosoopy observation of single crystallization of filled aluminum interconnection" Japanese J. Appl. Phys.34. L1260-L1262 (1995)
J.Wada：“填充铝互连单晶的原位透射电子显微观察”日本J.Appl。
DOI： --
发表时间：
期刊：
影响因子： --
作者： []
通讯作者：
融体のガラス転移のその場観察
  • 批准号：
    15074213
  • 项目类别：
    Grant-in-Aid for Scientific Research on Priority Areas
  • 资助金额：
    $29.5万
  • 财政年份：
    2003
  • 负责人：
    森 博太郎
  • 依托单位：
    Osaka University
半導体に過飽和に固溶させた金属の析出を用いた自己組織化ナノ構造の形成
  • 批准号：
    13875117
  • 项目类别：
    Grant-in-Aid for Exploratory Research
  • 资助金额：
    $1.22万
  • 财政年份：
    2001
  • 负责人：
    森 博太郎
  • 依托单位：
    Osaka University
合金ナノ粒子における相平衡の解析
  • 批准号：
    11123221
  • 项目类别：
    Grant-in-Aid for Scientific Research on Priority Areas (A)
  • 资助金额：
    $1.15万
  • 财政年份：
    1999
  • 负责人：
    森 博太郎
  • 依托单位：
    Osaka University
ナノ粒子における相変態と相平衡の解析
  • 批准号：
    10136227
  • 项目类别：
    Grant-in-Aid for Scientific Research on Priority Areas (A)
  • 资助金额：
    $1.28万
  • 财政年份：
    1998
  • 负责人：
    森 博太郎
  • 依托单位：
    Osaka University
海外基金