極細径電極アーク放電によるマイクロ溶融現象のその場観察

超细电极电弧放电微熔化现象的原位观察

• 批准号: 07219210
• 负责人: 平田 好則
• 金额: $ 1.98万
• 依托单位: Osaka University
• 依托单位国家: 日本
• 项目类别: Grant-in-Aid for Scientific Research on Priority Areas
• 财政年份: 1995
• 资助国家: 日本
• 起止时间: 1995 至 无数据
• 项目状态: 已结题
• 来源: https://kaken.nii.ac.jp/en/grant/KAKENHI-PROJECT-07219210/
• 关键词: アーク放電; 真空絶縁破壊; その場観察; マイクロ溶融; SEM

本研究では、先端のとがった極細径電極と試料間の微小なギャップに電界を作用させたときに生じる真空絶縁破壊とそれにともなうアーク放電に注目し、走査電子顕微鏡(SEM)によるその場観察を通して、これら放電現象に及ぼす因子と試料表面に形成されるマイクロメートルサイズの溶融部に関して基礎的に調べた。得られた結果を要約すると以下のようになる。1.電極と試料のギャップ距離をサブミクロンにすると、200V程度の電圧でも真空絶縁破壊が生じ、それにともなって持続時間の短いアーク放電が発生する。2.絶縁破壊電圧は電極間距離とともに上昇する。また、電極形状にも依存し、先端の曲率半径を小さくするほど、局部電界強度が高くなり、絶縁破壊しやすくなる。3.電極を陰極として、パルス電圧を用いることで、直径1μmから10μmの溶融部を再現性よく得ることができた。その溶融スポット径は、放電エネルギーが増加するとともに大きくなる。4.電極と試料間のギャップ長を制御し、パルス電圧を繰り返し与えることで、試料表面に幅2μmから10μmの溶接ビ-ド状の溶融部を形成することができた。このときの溶融幅は、パルス電圧あるいは繰り返し周期に依存する。

The purpose of this study is to investigate the role of microelectronics in the field of microelectronics in the cathode materials. In this study, the vacuum equipment is broken, the vacuum is broken, the vacuum is broken, and the computer microphone (SEM) is used to monitor the performance of the device. The surface of the material is formed by the release of the image and the surface of the material. The results show that the results are about the following. 1. The electrical equipment is far away from the air conditioner, the vacuum generator of the 200V power plant, and the vacuum generator of the power supply system. two。 The battery is far away from the battery and the battery. Dielectric, cathode shape dependence, front-end curvature radius, local electrical strength, local electrical strength, temperature dependence, local electrical strength, and local electrical strength. 3. The melting part with a diameter of 1 μ m in diameter and 10 μ m in diameter has been successfully applied to the melting part of the solar cell. Please do not change the size of the tube, increase the size of the tube, and increase the temperature. 4. The temperature between the cathode and the cathode is long, the temperature is returned to the temperature, and the surface amplitude of the material is 2 μ m and 10 μ m. The melting part of the electrode is formed. The melting rate is dependent on the melting rate, and the cycle is dependent on the return cycle.

项目成果

H.Maruo: "Melting phenomena by a micro-discharge" Welding Internatinal. 9. 607-614 (1995)

H.Maruo：“微放电的熔化现象”焊接国际。