ナノスケール強磁性ドメインを利用した巨大磁気抵抗効果の微小磁場制御

利用纳米级铁磁畴的巨磁阻效应的微磁场控制

• 批准号: 09236201
• 负责人: 武田 全康
• 金额: $ 0.77万
• 依托单位: Tohoku University
• 依托单位国家: 日本
• 项目类别: Grant-in-Aid for Scientific Research on Priority Areas
• 财政年份: 1997
• 资助国家: 日本
• 起止时间: 1997 至 无数据
• 项目状态: 已结题
• 来源: https://kaken.nii.ac.jp/en/grant/KAKENHI-PROJECT-09236201/
• 关键词: ナノスケール; 強磁性; ドメイン; 巨大磁気抵抗効果; 微小磁場

磁場誘起相転移を起こすペロフスカイト酸化物薄膜を、非常に大きな飽和磁化を持つ高透磁率軟磁性体薄膜で挟み込んだサンドイッチ構造の薄膜を作成し、微少磁場によって大きな磁気抵抗変化を生み出す物質の創製と、新たな物理現象の発現をねらった。本研究では、そのような物質探索を行う際に、軟磁性材料としてFeTaC、Feナノ基結晶を選んだ。この物質では、スパッタ法によりアモルファス化した薄膜を作成した後、真空中で熱処理し、アモルファス内にFeの微結晶を析出させることによって高透磁率軟磁性体を実現することができる。我々の研究の特徴の一つは、スパッタとして従来のマグネトロンスパッタに加えて高周波コイルをもつヘリコンスパッタを用いたことである。ヘリコンスパッタでは、従来のスパッタに比べて高密度プラズマをたてることができるので、ターゲットと基板の間隔を長くとれることや、低圧スパッタが可能であり、高品位の膜の作成が可能であると言われている。現在までに、ターゲットが含むFe,Ta,Cの比や、スパッタ時のArガス圧、スパッタパワー、高周波コイルのパワーなどの最適条件を見いだすためにかなりの時間を費やした。しかし、残念ながら、アモルファスではなく、最初からFeが結晶化している膜しか得られていない。これは、ヘリコンスパッタの特徴がかえってマイナスに働いてしまった可能性もあるが、低圧、低スパッタパワーの条件では、結晶性が悪くなる傾向がみられており、現在も継続して最適条件の探求を行っている。ただし、比較のために作成したCrの薄膜では、ロッキングカーブのFWHMで0.2度というかなり高品位な(002)配向をもった薄膜を作成することに成功した。Fe/Cr多層膜は、最初に巨大磁気抵抗効果が見いだされた物質であり、今後、この高配向Cr膜とFeTaCの多層膜も研究対象にする予定である。

The phase shift of the magnetic field is due to the formation of acidified thin films, high permeability magnetic thin films, high permeability magnetic thin films, high magnetic permeability magnetic thin films, small magnetic fields, large magnetic fields, large magnetization resistors, and new physics. The purpose of this study is to explore the basic crystal structure of magnetic materials, such as FeTaC, Fe and so on. After the formation of the thin film, the microcrystal of the Fe in the vacuum was precipitated in the vacuum, and the magnetic material with high permeability was observed. I am going to study the situation in particular, so that I can tell you that I am going to increase the frequency of high-frequency waves. Because of the high density, the substrate, the substrate, the low temperature, the high grade film. At present, there is an Fe,Ta,C comparison, an Ar comparison, a low-time Ar comparison, and a high-frequency response schedule. In the first place, the Fe was crystallized, and the film was successfully obtained. The possibility, low temperature, low temperature The quality of the film is different from that of the Cr film, the FWHM film is 0.2 degrees higher than that of the high-grade film. Fe/Cr multi-film, the initial "huge magnetic resistance" results in high-profile Cr film "FeTaC" multi-film research, "predetermined".

项目成果

武田 全康: "surface and interfacial magnetic diffuse scattering" Physica B. (印刷中). (1998)

Takeda Zenyasu：“表面和界面磁漫散射”Physica B.（出版中）。