分光複屈折近接場光学顕微鏡の開発とナノマイクロ機構・材料の応力・配向評価への応用

光谱双折射近场光学显微镜的研制及其在纳米微机构和材料应力和取向评估中的应用

基本信息

  • 批准号:
    12131204
  • 负责人:
  • 金额:
    $ 17.47万
  • 依托单位:
  • 依托单位国家:
    日本
  • 项目类别:
    Grant-in-Aid for Scientific Research on Priority Areas
  • 财政年份:
    2000
  • 资助国家:
    日本
  • 起止时间:
    2000 至 2003
  • 项目状态:
    已结题

项目摘要

本研究では、申請者が世界に先駆けて開発した左右円偏光光源を用いた高速複屈折測定法を近接場光学顕微鏡に応用してナノ・マイクロマシンにおける構造材料や構造体の複屈折を非破壊的にかつ高空間分解能で評価測定できるシステムを開発することを目的とした。具体的には、高速複屈折測定法を照明型近接場光学顕微鏡に適用するために、それに用いる最適な光プローブの開発および分解能を評価するとともに、開発した装置を用いて各種の光学異方性をもつ試料を観測することで、様々なナノ・マイクロマシン材料の評価に対応できるシステムを開発する。最終年度に当たる今年度においては、開発した複屈折近接場光学顕微鏡の観測性能を評価するため、配向液晶薄膜を観測した。AFMプローブによって液晶薄膜をラビングすることで、液晶分子を直接配向させる現象を発見し、開発した複屈折近接場光学顕微鏡で評価することによってその配向特性を明らかにした。さらに、AFMプローブの走査密度を1ミクロンあたり1本程度と低くすることで、格子状の液晶配向パターンを作成および観測することに成功した。さらに、1度ラビングした方向と直角方向に再ラビング出来ることを示した。本手法は、液晶のラビングにける配向メカニズムを明らかに出来る可能性を示すとともに、新規な配向パターンを有する光情報デバイスの作成に有効となることが期待できる。以上の研究成果の他にも、高分子フィルム断面の応力分布の高分解能観測を行い、開発した複屈折近接場光学顕微鏡の有用性を明らかにした。
This study aims to evaluate the development of high spatial resolution energy for the determination of high spatial resolution energy for the development of high-speed complex refraction measurements for near-field optical micromirrors. The specific high-speed complex refraction method is applicable to illumination-type near-field optical micromirrors, and the optimal optical properties and decomposition energy are evaluated. Finally, the measurement performance of multi-refractive near-field optical micromirrors was evaluated. The phenomenon of direct alignment of liquid crystal molecules has been discovered and evaluated by AFM. For example, AFM can make the alignment density of lattice liquid crystal as low as possible. 1 degree angle angle This method can be used to indicate the possibility of creating an optical information device with new alignment. The above research results show that the high resolution energy measurement of polymer cross-section and the usefulness of compound refractive near-field optical micromirrors are very important.

项目成果

期刊论文数量(28)
专著数量(0)
科研奖励数量(0)
会议论文数量(0)
专利数量(0)
S.Ohkubo, N.Umeda: "Near-field scanning optical Microscope based ontast birefringence measurement"Materials and Sensor. 13・8. 433-443 (2001)
S.Ohkubo,N.Umeda:“基于双折射测量的近场扫描光学显微镜”13・8 433-443(2001)。
  • DOI:
  • 发表时间:
  • 期刊:
  • 影响因子:
    0
  • 作者:
  • 通讯作者:
大久保進也, 鈴木敬一, 高柳淳夫, 梅田倫弘: "複屈折近接場光学顕微鏡におけるプローブ出射光の自動補償装置の開発"光学. 32,1. 32-38 (2002)
Shinya Okubo、Keiichi Suzuki、Atsuo Takayanagi、Tomohiro Umeda:“双折射近场光学显微镜中探针输出光自动补偿装置的开发” 32,1 (2002)。
  • DOI:
  • 发表时间:
  • 期刊:
  • 影响因子:
    0
  • 作者:
  • 通讯作者:
Shinya Ohkubo, Yukitoshi Otani, Norihiro Umeda: "Electromagnetic Field Analysis for Circularly Polarized Light at the Apex of the Near-Field Optical Probe"Jpn.J.Appl.Phys.. 42・3B. L297-L300 (2003)
Shinya Ohkubo、Yukitoshi Otani、Norihiro Umeda:“近场光学探针顶点的圆偏振光的电磁场分析”Jpn.J.Appl.Phys.. 42・3B (2003)
  • DOI:
  • 发表时间:
  • 期刊:
  • 影响因子:
    0
  • 作者:
  • 通讯作者:
S.Ohkubo, A.Tukayanagi, N.Umeda: "Observation of magneto-optical disc by birefringence contrast scanning near-field optical microscope"Technical Digest of CLEO/PR 2001. I182-I183 (2001)
S.Ohkubo、A.Tukayanagi、N.Umeda:“通过双折射对比扫描近场光学显微镜观察磁光盘”CLEO/PR 2001 技术文摘。I182-I183 (2001)
  • DOI:
  • 发表时间:
  • 期刊:
  • 影响因子:
    0
  • 作者:
  • 通讯作者:
青野正和, 猪飼篤, 江刺正喜 他編: "ナノテクノロジー大事典"工業調査会. 989 (2003)
Masakazu Aono、Atsushi Ikai、Masaki Esashi 等人:《纳米技术百科全书》工业研究组 989 (2003)。
  • DOI:
  • 发表时间:
  • 期刊:
  • 影响因子:
    0
  • 作者:
  • 通讯作者:
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知道了