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ナノギャップを用いた単一分子の伝導特性計測とセンサ応用

使用纳米间隙和传感器应用测量单分子的传导特性

基本信息

批准号：
15073208
负责人：
染谷隆夫
金额：
$ 19.33万
依托单位：
The University of Tokyo
依托单位国家：
日本
项目类别：
Grant-in-Aid for Scientific Research on Priority Areas
财政年份：
2003
资助国家：
日本
起止时间：
2003 至 2007
项目状态：
已结题

项目摘要

本研究は、有機トランジスタをナノ寸法まで微細化して高性能化し、大面積センサに応用する研究を推進することを目的している。これまでに、「有機半導体分子を用いたトランジスタをナノ寸法にまで微細化して、大面積センサに応用する」ため、ナノ印刷技術や張り合わせ法によって有機トランジスタを製造する方法に取り組んだ。特に、有機トランジスタの製造に当たっては、ソース・ドレインの微細化を低コストプロセスで実現するだけでなく、そのほかのゲート電極層、ゲート絶縁膜、有機半導体層などを低コストプロセスで成膜することが大切である。これまでに、筆者らはポリイミドの前駆体をポリエチレンナフタレートの上にスピンコートで塗布して、有機トランジスタのゲート絶縁膜とすることに成功している。また、ポリイミドの前駆体をインクジェットで塗布し、ゲート絶縁膜のパターニングに取り組んだ。インクジェット塗布時の周波数や印加電圧を最適化することによって、ポリイミド薄膜の平坦性や均一性を向上させた。また、電極層については、銀ナノ粒子をインクジェットで塗布して、ゲート電極に応用してきたが、同様の手法をソース・ドレイン電極に応用した。特に、インクジェット描画によるミクロン寸法の電極を利用することによって、チャネル長が1ミクロンかつ高移動度のペンタセン電界効果トランジスタの試作に成功した。

This study aims to advance the research of miniaturization and large-area application of organic materials. This is a method for producing organic semiconductor molecules by printing technology and by combining organic semiconductor molecules with printing technology. In particular, in the production of organic semiconductor layers, the electrode layers, insulating films, and organic semiconductor layers are formed in a manner that reduces the size of the semiconductor layers and reduces the thickness of the semiconductor layers. The author of this paper has successfully applied the coating method to the precursor of the organic polymer. For example, the precursor of the polymer film is coated with a coating agent, and the polymer film is coated with a coating agent. Optimization of cycle number and voltage during coating process, improvement of flatness and uniformity of thin films The electrode layer is coated with silver particles, and the electrode layer is coated with silver particles. The test of electrode utilization of special technology and technology was successful.