光ガルバノ分光によるメタン及びシランガス放電の陰極近傍における電界分布の計測

使用光学检流计光谱测量甲烷和硅烷气体放电阴极附近的电场分布

• 批准号: 63632512
• 负责人: 廣瀬 千秋
• 金额: $ 1.79万
• 依托单位: Tokyo Institute of Technology
• 依托单位国家: 日本
• 项目类别: Grant-in-Aid for Scientific Research on Priority Areas
• 财政年份: 1988
• 资助国家: 日本
• 起止时间: 1988 至 无数据
• 项目状态: 已结题
• 来源: https://kaken.nii.ac.jp/en/grant/KAKENHI-PROJECT-63632512/
• 关键词: 光ガルバノ分光; ガス放電における電界分布; ネオンホロー陰極放電; リュドベル準位; 項値の決定; OGシュタルク分光

標記の研究課題を遂行するに当り、本年度は次の3項目の実現を第1の目標に設定した。1.種々の反応性プラズマに対応できる放電装置の製作。2.波長純度に優れている一方で操作及びデータ処理が繁雑なリングレーザー計測にコンピュータ制御を加える。3.操作・調整が簡便な多モード発振パルスレーザーを用いた測定法の開発。得られた成果は次の通りである。1.現有のマスフローメーターに加えてメカニカルブースターポンプ一式(ULVAC,YM-100)700千円)を用いることにより、流量及び流速の調節に適したフローシステムを製作、しさらに、直流放電とマイクロ波放電を適宜行うことができる放電システムを開発した。2.リング色素レーザーの駆動・掃引を制御し、かつ、スペクトルデータのとり込み・処理・記録をパソコンで行うためのインターフェース及びソフトウエアを開発し、これに新規に購入した2位相ロックインアンプ(スタンフォードリサーチ社SR-530;584千円)を組み合わせて測定の自動化を図った。2月末現在で、ソフトウエアの最終チェックを行っている。3.電場の効果が極めて大きくスペクトル上にあらわれる原子線のリュドベリ遷移に着目し、Ne放電にレーザー2段階光がガルバノ分光を適用することで、中空陰極上部空間における電解分布の計測に成功した。同時に、電場誘起光学遷移が出現していることを見出しこの解析から、従来は知られていなかった、Neの偶リュドベリ準位の項値を決定した。以上の成果にもとづき、メタン及びシランをシードした希ガスの放電における電界分布を計測する準備が進行中であり、特に、2の完成を待って実行に移す予定である。

在列出的研究主题时，今年的第一个目标是实现以下三项。 1。制造可以容纳各种反应性等离子体的排放设备。 2.将计算机控制添加到环形激光测量中，这些测量值具有出色的波长纯度，但操作和数据处理很复杂。 3。使用易于操作和调整的多模振荡脉冲激光器开发测量方法。所获得的结果如下：1。通过使用完整的机械加强泵（ULVAC，YM-100），除了现有的质量流量计外，我们还创建了一个适合调整流量和流量的流动系统，并开发了可以执行DC和微波放电的排放系统。 2。我们开发了一个接口和软件，用于控制环染料激光器的驾驶和扫描，并在计算机上合并，处理和记录频谱数据，并将其与新购买的两相锁定放大器（Stanford Research SR-530; 584,000 Yen）结合起来，以自动测量测量。截至2月底，该软件正在检查最终产品。 3。着眼于原子射线的Ludberg过渡，在电场的效果中非常大，我们通过在NE放电的NE放电中施加了两个激光束，成功地测量了空心阴极上部空间中的电解分布。同时，出现了电场诱导的光学跃迁，从该分析中，确定了NE的均匀Ludberg水平的术语值，这是以前未知的。基于上述结果，正在进行制备，以测量用甲烷和硅烷的贵重气体排放的电场分布，并在2填充后尤其要实施。

项目成果

阿美徳宏: Applied Spectroscopy. 43. (1989)

阿德浩：应用光谱学43。（1989）

阿美徳宏: Chemical Physics Letters. 153. 118-120 (1988)

阿德浩：化学物理快报 153. 118-120 (1988)