Härtegradienten in Nanoschichtsystemen

(gek In vorliegenden Projekt soll der Einfluenza von Strukturgradienten auf die Nanohärte untersucht韦尔登.大足在工业生产中，由于环境因素的影响，在Si-或Al²O 3-基体上未实现TiN/VN非晶复合迪凯非晶化。但是，在“超级模块”的研制过程中，由于钢结构的变形，TiC/VC体系不能被理解为韦尔登的一部分。Die Nanohärte soll mit Diamentindenter quantitativ in Abhängigkeit vom Strukturgradienten und dem Skalierungsfaktoren Indentergröße/ Schichtpaketdicke vermessen und verstanden韦尔登.一个印刷品在纳米范围内。光栅和透射电子显微镜通过韦尔登的识别模型求解。这是真的，这是Z. B。我们可以在三维空间中处理这些碎片。Schichtsysteme的结构可以使韦尔登变得更好。

(gekürzt):Im vorliegenden Projekt soll der Einfluß von Strukturgradienten auf die Nanohärte untersucht werden. Dazu sind die Herstellung bisher nicht realisierter amorpher TiN/VN-Multischichten unterschiedlicher Dicke auf Si- und/oder Al²O³-Substrat sowie die Erzeugung von Strukturgradienten in Richtung kristallinen Zustands durch Wärmebehandlung vorgesehen. Weiterhin soll das bisher dahingehend nicht studierte Schichtsystem TiC/VC nach dem Auftreten des "Supermoduleffektes" beim Gang vom amorphen zum kristallinen Zustand untersucht werden. Die Nanohärte soll mit Diamentindenter quantitativ in Abhängigkeit vom Strukturgradienten und dem Skalierungsfaktoren Indentergröße/ Schichtpaketdicke vermessen und verstanden werden. Eindrucktiefen liegen dann im Nanometerbereich. Mit Rasterkraft- und Transmissionselektronenmikroskopie sollen durch Auswertung der Indentierungen Modelle der Härtesteigerung geprüft werden. Es wird erwartet, dass sich z.B. nach Wärmebehandlung die Grenzflächen zu dreidimensionalen Grenzschichten entwickeln. Die Strukturen der Schichtsysteme sollen tiefenabhängig verfeinert werden.