Härtegradienten in Nanoschichtsystemen

纳米层系统中的硬度梯度

• 批准号: 5140030
• 负责人: Professor Dr. Peter Paufler
• 金额: --
• 依托单位: Institut für Festkörper- und Materialphysik (IFMP)
• 依托单位国家: 德国
• 项目类别: Priority Programmes
• 财政年份: 1998
• 资助国家: 德国
• 起止时间: 1997-12-31 至 2005-12-31
• 项目状态: 已结题
• 来源: https://gepris.dfg.de/gepris/projekt/5140030?language=en
• 关键词: rtegradienten; Nanoschichtsystemen

(gekürzt):Im vorliegenden Projekt soll der Einfluß von Strukturgradienten auf die Nanohärte untersucht werden. Dazu sind die Herstellung bisher nicht realisierter amorpher TiN/VN-Multischichten unterschiedlicher Dicke auf Si- und/oder Al²O³-Substrat sowie die Erzeugung von Strukturgradienten in Richtung kristallinen Zustands durch Wärmebehandlung vorgesehen. Weiterhin soll das bisher dahingehend nicht studierte Schichtsystem TiC/VC nach dem Auftreten des "Supermoduleffektes" beim Gang vom amorphen zum kristallinen Zustand untersucht werden. Die Nanohärte soll mit Diamentindenter quantitativ in Abhängigkeit vom Strukturgradienten und dem Skalierungsfaktoren Indentergröße/ Schichtpaketdicke vermessen und verstanden werden. Eindrucktiefen liegen dann im Nanometerbereich. Mit Rasterkraft- und Transmissionselektronenmikroskopie sollen durch Auswertung der Indentierungen Modelle der Härtesteigerung geprüft werden. Es wird erwartet, dass sich z.B. nach Wärmebehandlung die Grenzflächen zu dreidimensionalen Grenzschichten entwickeln. Die Strukturen der Schichtsysteme sollen tiefenabhängig verfeinert werden.

(gekürzt)：我是 vorliegenden Projekt soll der Einfluß von Strukturgradienten auf die Nanohärte untersucht werden。 Dazu sind die Herstellung bisher nicht realisierter amorpher TiN/VN-Multischichten unterschiedlicher Dicke auf Si- and/oder Al2O3-Substrat sowie die Erzeugung von Strukturgradienten in Richtung kristallinen Zustands durch Wärmebehandlung vorgesehen. Weiterhin soll das bisher dahinehend nicht studierte Schichtsystem TiC/VC nach dem des "Supermoduleffektes" beim Gang vom amorphen zum kristallinen Zustand undersucht werden.纳米硬度计可在结构梯度变化和压痕/压痕测量中进行定量测量。 Eindrucktiefen liegen dann im Nanometerbereich。 Mit Rasterkraft- und Transmissionselektronenmikroskopie sollen durch Auswertung der Indentierungen Modelle der Härtesteigerung geprüft werden。 Es wird erwartet, dass sich z.B. Nach Wärmebehandlung die Grenzflächen zu dreiDimensionen Grenzschichten entwickeln。结构系统的结构必须完全符合要求。