Härtegradienten in Nanoschichtsystemen

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(gekürzt):Im vorliegenden Projekt soll der Einfluß von Strukturgradienten auf die Nanohärte untersucht werden. Dazu sind die Herstellung bisher nicht realisierter amorpher TiN/VN-Multischichten unterschiedlicher Dicke auf Si- und/oder Al²O³-Substrat sowie die Erzeugung von Strukturgradienten in Richtung kristallinen Zustands durch Wärmebehandlung vorgesehen. Weiterhin soll das bisher dahingehend nicht studierte Schichtsystem TiC/VC nach dem Auftreten des "Supermoduleffektes" beim Gang vom amorphen zum kristallinen Zustand untersucht werden. Die Nanohärte soll mit Diamentindenter quantitativ in Abhängigkeit vom Strukturgradienten und dem Skalierungsfaktoren Indentergröße/ Schichtpaketdicke vermessen und verstanden werden. Eindrucktiefen liegen dann im Nanometerbereich. Mit Rasterkraft- und Transmissionselektronenmikroskopie sollen durch Auswertung der Indentierungen Modelle der Härtesteigerung geprüft werden. Es wird erwartet, dass sich z.B. nach Wärmebehandlung die Grenzflächen zu dreidimensionalen Grenzschichten entwickeln. Die Strukturen der Schichtsysteme sollen tiefenabhängig verfeinert werden.