固体物性研究用イオン源の開発
固体物性研究用イオン源の開発
固态物性研究用离子源的研制
批准号：
X00040----021613
负责人：
伊藤 糾次
金额：
$6.85万
依托单位：
依托单位国家：
日本
项目类别：
Grant-in-Aid for Special Project Research
财政年份：
1975
资助国家：
日本
项目状态：
已结题
起止时间：
1975 至 --
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会议论文
極微構造デバイスのためのイオンプロセス技術の開発と評価
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批准号：59103013
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项目类别：Grant-in-Aid for Special Project Research
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资助金额：$5.12万
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财政年份：1984
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负责人：伊藤 糾次
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依托单位：
極微構造のためのイオン注入技術開発
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批准号：58209042
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项目类别：Grant-in-Aid for Special Project Research
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资助金额：$1.34万
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财政年份：1983
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负责人：伊藤 糾次
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依托单位：
シランの光分解法によるシリコン膜の成長過程に関する研究
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批准号：58460127
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项目类别：Grant-in-Aid for General Scientific Research (B)
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资助金额：$4.29万
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财政年份：1983
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负责人：伊藤 糾次
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依托单位：
極微構造のためのイオン注入技術開発
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批准号：57217038
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项目类别：Grant-in-Aid for Special Project Research
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资助金额：$2.94万
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财政年份：1982
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负责人：伊藤 糾次
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依托单位：
シランの放電分解によるシリコン膜の成長過程の研究
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批准号：X00080----446056
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项目类别：Grant-in-Aid for General Scientific Research (B)
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资助金额：$4.16万
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财政年份：1979
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负责人：伊藤 糾次
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依托单位：
固体物性を利用した重イオン源の開発
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批准号：X00040----220119
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项目类别：Grant-in-Aid for Special Project Research
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资助金额：$1.92万
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财政年份：1977
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负责人：伊藤 糾次
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依托单位：
固体物性を利用した重イオン源の開発
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批准号：X00040----120922
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项目类别：Grant-in-Aid for Special Project Research
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资助金额：$7.36万
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财政年份：1976
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负责人：伊藤 糾次
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依托单位：
真空蒸着法によるリコン・エピタキシャル層の成長過程の研究
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批准号：X00080----846061
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项目类别：Grant-in-Aid for General Scientific Research (B)
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资助金额：$1.63万
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财政年份：1973
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负责人：伊藤 糾次
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依托单位：