電子ビーム誘導電流(EBIC)法によるトレースの三次元的分析
電子ビーム誘導電流(EBIC)法によるトレースの三次元的分析
使用电子束感应电流 (EBIC) 方法对迹线进行三维分析
批准号：
X00040----520801
负责人：
野村 滋
金额：
$0.96万
依托单位国家：
日本
项目类别：
Grant-in-Aid for Special Project Research
财政年份：
1980
资助国家：
日本
项目状态：
已结题
起止时间：
1980 至 --
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会议论文
N_2O酸窒化急速熱処理による高性能極薄シリコン酸化膜の形成
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批准号：08650360
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项目类别：Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
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资助金额：$1.41万
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财政年份：1996
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负责人：野村 滋
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依托单位：
N_2O酸窒化急速熱処理による高性能極薄シリコン酸化膜の形成
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批准号：06650347
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项目类别：Grant-in-Aid for General Scientific Research (C)
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资助金额：$0.96万
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财政年份：1994
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负责人：野村 滋
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依托单位：
陽極酸化機構によるアモルファスシリコンデバイスの開発
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批准号：60550218
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项目类别：Grant-in-Aid for General Scientific Research (C)
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资助金额：$1.22万
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财政年份：1985
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负责人：野村 滋
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依托单位：