機能性ナノコンポジット薄膜の作製及び電子顕微鏡による総合評価

(1)ナノコンポジット薄膜の作製ふっ化リチウムとふっ化アルミニウムを9:1(モル比)で混合し、グレインサイズを小さくするために110Kに冷却した基板(アモルファスカーボン:膜厚5nm)上に、膜厚25nm蒸着して試とした。また、パターン形成過程を制御するため、さらに表面からのガス脱出を阻止する薄膜(アモルファスカーボン;膜厚5nm)を付加した。(2)高分解能電子顕微鏡法による構造解析作製したナノコンポジット薄膜を試料として高分解能電子顕微鏡法および電子回折法による観察を行った。その結果、ふっ化リチウムのグレインサイズは10nm程度であり、多結晶構造をなしていることがわかった。(3)走査透過電子顕微鏡・パラレル電子エネルギー損失分光器を用いた元素マッピッグまず、走査透過型電子顕微鏡 日立H-8000を用い、露光量10^3C/cm^2で、直径100nm、周期200nmのドットアレイ(行列)を作製した。これを試料とし、H-8000、パラレル電子エネルギー損失分光器 GATANmode1666および本研究室で開発した検出システムを用いて元素マッピングを試みた。その結果、ふっ化リチウムの膜厚に対応したリチウムマップが得られることを確認した。

(1)ナノコンポジット薄膜の作製ふっ化リチウムとふっ化アルミニウムを9:1(モル比)で混合し、グレインサイズを小さくするために110Kに冷却した基板(アモルファスカーボン:膜厚5nm)上に、膜厚25nm蒸着して試とした。また、パターン形成過程を制御するため、さらに表面からのガス脱出を阻止する薄膜(アモルファスカーボン;膜厚5nm)を付加した。(2)高分解能電子顕微鏡法による構造解析作製したナノコンポジット薄膜を試料として高分解能電子顕微鏡法および電子回折法による観察を行った。その結果、ふっ化リチウムのグレインサイズは10nm程度であり、多結晶構造をなしていることがわかった。(3)走査透過電子顕微鏡・パラレル電子エネルギー損失分光器を用いた元素マッピッグまず、走査透過型電子顕微鏡 日立H-8000を用い、露光量10^3C/cm^2で、直径100nm、周期200nmのドットアレイ(行列)を作製した。これを試料とし、H-8000、パラレル電子エネルギー損失分光器 GATANmode1666および本研究室で開発した検出システムを用いて元素マッピングを試みた。その結果、ふっ化リチウムの膜厚に対応したリチウムマップが得られることを確認した。