structure modification of pro PVD mono-, multiple- and multi layered coatings by intermidate plasma treatments and the effect on the corrosion behavions of coating/substrate systems

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PVD-Verfahren erlauben die Abscheidung herausragender Schichtmaterialklassen. Die Schichten sind jedoch häufig mit Fehlstellen (Poren, Pinholes) behaftet, die beispielsweise die Langzeitbeständigkeit von Hartstoffschichten in den Fällen beschränkt, in denen z.B. die tribologischen Beanspruchungen in Gegenwart von korrosiven Medien erfolgen, weil das Korrosionsmedium durch die Defekte bis zum Substratmaterial durchdringen und dieses koorodieren kann.Ziel der geplanten Arbeiten ist die systematische Untersuchung des Einflusses von Plasmabehandlungen und Wechselschichtfolgen auf den Aufbau, die Struktur und Morphologie von Einfach-, Mehrfach- und Vielfachschichten aus Hartstoff/Metall- und Hartstoff/Hartstoffschichten.Als Parameter sollen vor allem die Ionenenergie, Intensität und Dauer von Plasma-Zwischenätzschritten zur Bildung neuer Keimbildungszentren sowie die Schichtfolge (Material), die Periodizität und Dickenverhältnisse verändert werden. Als Modellsystem für die systematischen Untersuchungen werden CrN- bzw. Cr/CrN-Schichten gewählt.Auf der Basis der erhaltenen grundlegenden Ergebnisse sollen die Zusammenhänge zwischen derartigen Behandlungen, der Schichtstruktur und dem Korrosionsverhalten von Hartstoffschicht/Substrat-Systemen erarbeitet werden. Dabei müssen die mechanisch/tribologischen Eigenschaften für ihre Einsatzfähigkeit erhalten bleiben.