Sioの同定と定量に関する研究

Sio的鉴定与定量研究

• 批准号: 61550493
• 负责人: 前田 正史
• 金额: $ 1.15万
• 依托单位: The University of Tokyo
• 依托单位国家: 日本
• 项目类别: Grant-in-Aid for General Scientific Research (C)
• 财政年份: 1986
• 资助国家: 日本
• 起止时间: 1986 至 无数据
• 项目状态: 已结题
• 来源: https://kaken.nii.ac.jp/grant/KAKENHI-PROJECT-61550493/
• 关键词: 一酸化珪素ガス; シリコン移行

反応により発生するガスの温度が1500〜2000℃、というような高温反応においてのガス種の その場(in-situ)測定を行うために赤外線を透過するKRS-5多結晶質ファイバ(IRファイバ)と水冷ブローブを組合せ、センサを開発することに成功した。これを用いて高温の実験炉においてCO,【CO_2】,【H_2】Oの定量分析をFTIRによって行った。一酸化炭素(CO),二酸化炭素(【CO_2】),水蒸気(【H_2】O)について赤外線吸収スペクトルを測定し、濃度と吸収の強度から検量線を作成することができた。測定条件は、温度1550℃,CO,【CO_2】分圧0〜1.0atm(0〜100%),【H_2】O分圧0〜0.1atm(0〜10%),セル長30〜510mmで行った。その結果、2140【cm^(-1)】付近にCOの伸縮振動,2400〜2150【cm^(-1)】に【CO_2】の逆対称伸縮振動(υ3),1900〜1300【cm^(-1)】に【H_2】Oの全対称伸縮振動(υ2)による吸収が見られた。それぞれの吸収帯の面積を計算し、面積吸光度とした。CO,【CO_2】,【H_2】Oともに濃度と面積吸光度の間に良好な関係を得た。また本装置の測定感度について調べた結果、セル長200mmにおいて100ppmCOの検出が可能であることがわかった。次に 二酸化珪素(【SiO_2】)を炭素(C)で還元することにより発生したガスの赤外線吸収スペクトルの測定を行った。温度およびセル長は検量線作成時と同様の条件で行い、Arガスを5ml/min流した。2140【cm^(-1)】付近にCOガスの吸収が見られた。検量線から調べた結果、CO分圧が約0.4atmであることがわかった。IRファイバとFTIRを用いて、赤外域に吸収を持つCO,【CO_2】,【H_2】Oが反応によって発生しているその場でリアルタイムに定量化することが可能となった。現在SiOガスについて確かな情報は得られていないが、今後、SiOガスについてスペクトルの測定を試みる予定である。

KRS-5 multi-crystalline material was successfully tested at temperatures ranging from 1500 ℃ to 2000℃, and at high temperatures. The results showed that KRS-5 multi-crystalline material was successfully tested at infrared transmission. The quantitative analysis of CO,[CO_2],[H_2] O by FTIR was carried out at high temperature. Carbon dioxide (CO), carbon dioxide (CO_2) and water vapor (H_2) are used to determine the absorption spectrum, concentration and intensity of infrared absorption. The determination conditions are: temperature 1550℃,CO,[CO_2] partial pressure 0 ~ 1.0atm(0 ~ 100%),[H_2] O partial pressure 0 ~ 0.1atm(0 ~ 10%), column length 30 ~ 510 mm. The results are as follows: 2140 [cm^(-1)] near CO stretching vibration, 2400 ~ 2150 [cm^(-1)] opposite symmetric stretching vibration of [CO_2](ν 3), 1900 ~ 1300 [cm^(-1)] opposite symmetric stretching vibration of [H_2] O (ν 2) and absorption. Calculation of absorption area and area absorbance A good relationship between CO,[CO_2],[H_2] O concentration and area absorbance was obtained. The sensitivity of this device is measured by adjusting the results, and the detection of CO is possible when the length is 200mm and 100 ppm. The determination of carbon (C) in secondary diacid (SiO_2) was carried out. The temperature and temperature of the reactor are determined by the same conditions. The flow rate is 5ml/min. 2140 [cm^(-1)] Near CO absorption is observed. As a result, CO sub-pressure is about 0.4 atm. IR, FTIR, IR, IR, Now SiO

项目成果

前田正史: 鉄と鋼. 72. S873 (1986)

前田正志：《铁到哈根》72. S873 (1986)